[实用新型]一种晶棒晶面确定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，尤其是一种晶棒晶面确定装置。

背景技术

晶棒作为晶片加工产品的原材料，其本身物理性质对于晶片加工产品的质量起决定性作用。晶棒的物理性质，例如硬度、发光强度等均由其内部的晶面决定；晶棒内部含有多个晶面，例如A面、B面、R面等等，其中部分晶面，例如R面，与水平面存在一定夹角。现有技术中的晶面检测装置多为水平检测仪器，其难以对倾斜晶面实现精确测量，从而使得晶棒的晶面难以确定，使得其加工产品质量存在一定的不稳定性。

实用新型内容

本发明要解决的技术问题是提供一种晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现晶棒内晶面的测量，同时可对倾斜晶面实现精确检测。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶棒晶面确定装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接。所述X射线定位平台上设置有用于放置晶体的倾斜载台，与用于对晶棒进行定位的晶棒定位装置；所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接；所述倾斜载台包含有载台底座，以及设置在载台底座上，且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台；所述晶棒支撑平台底部与晶棒定位装置间距离小于晶棒支撑平台顶部与晶棒定位装置间的距离；所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面。

作为本实用新型的一种改进，所述X射线定位平台上设置有旋转平台，所述旋转平台由设置在X射线定位平台内的电机控制；所述旋转平台与倾斜载台间的相对位置固定，其可由电机控制旋转平台带动倾斜载台转动，精确便捷的实现晶棒的旋转，以便通过X射线确定晶棒的晶面。

作为本实用新型的一种改进，所述旋转平台与倾斜载台之间设置有晶棒载台；所述载台底座由晶棒载台表面向上延伸，且与晶棒载台相互固定；所述晶棒支撑平台与载台底座之间采用可转动连接，其可避免旋转平台直接与倾斜载台接触，以导致旋转过程中的机械振动影响晶棒位置。

作为本实用新型的另一种改进，所述载台底座由两块相互平行的直板构成；所述晶棒支撑平台由宽度与载台底座中两平行直板之间的距离相等的支撑块构成；所述支撑块设置在载台底座的两块直板之间，其通过转轴与直板连接；所述支撑块中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面结构。采用上述设计，晶棒支撑平台与水平面的夹角可根据晶棒的规格不同进行调节，以适用于不同规格晶棒晶面的确定。

作为本实用新型的一种改进，所述晶棒定位装置包括由晶棒载台表面向上延伸的挡块，所述挡块的高度低于X射线发射器以及接收器的高度。

作为本实用新型的另一种改进，所述挡块底部设置有与挡块之间采用固定连接的滑板，所述晶棒载台在滑板的对应位置设置有长度与宽度均大于滑板的滑槽，滑板可沿滑槽长度方向进行位移；所述滑槽一端与晶棒支撑平台底部所在竖直平面存在微小间隙，另一端与晶棒载台边部之间存在微小间隙。采用上述设计，其可根据晶棒规格调整晶棒定位装置与晶棒之间距离，以实现最佳定位效果。

作为本实用新型的另一种改进，所述滑槽两侧内边，以及滑板和滑槽相交的侧边，均设置有彼此间能够紧密贴合的锯齿；所述锯齿的齿长范围为0.5至1厘米，其在不影响滑块在滑槽内运动的前提下，有效确保其接触稳定。

上述晶棒晶面确定装置，其可将晶棒放置在晶棒支撑平台中的弧形面上，并根据检测要求调整晶棒支撑平台与水平面夹角，同时通过调整晶棒定位装置，以实现晶棒在需求角度下的位置的固定。设备开启后，通过X射线发生器发射X射线射入晶棒内部，晶棒在旋转平台驱动下自行旋转，当晶棒与X射线的夹角达到规定值时，X射线接收器方能接收到反射而来的射线，并通过显示屏显示当前角度，即实现晶面角度的测量。

采用上述技术方案的晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现各个规格晶棒的晶面角度的检测，从而确定晶棒是否符合生产需求，避免晶棒本身物理性质不佳导致加工产品的质量下降；同时，其避免了水平仪器无法对晶棒中部分与水平面存在夹角的晶面实现精确测量的现象，对于不同晶棒的不同晶面，均可通过调整装置角度实现精确测量。

附图说明

图1为本实用新型示意图；

图2为本实用新型中晶棒定位装置连接示意图；

附图标记说明：

1—X射线定位平台底座、2—X射线发射器、3—X射线接收器、4—显示屏、5—晶棒定位装置、6—载台底座、7—晶棒支撑平台、8—旋转平台、9—晶棒载台、10—滑板、11—滑槽、12—锯齿。