[实用新型]基板吸附载台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板吸附载台，特别涉及一种可以依据基板的长宽大小，而选择性关闭X、Y方向的吸附孔的基板吸附载台。

背景技术

在印刷电路板的工艺中，必须将印刷电路板放置于吸附载台上，通过吸附载台上的各吸附孔，所产生的吸附力，使电路板固定于吸附载台上，借以便于进行后续相关工艺。然，在实务应用中，上述的电路板吸附载台，仍存在着诸多问题。其中又以吸附载台无法依据不同大小的电路板，而对应启闭吸附孔为最大的问题；因为，如果印刷电路板未充分被吸附于吸附载台，会导致印刷电路板在工艺中产生破裂、损坏或无法对准的问题，如此一来将造成印刷电路板的工艺良率下降，并且影响产品的品质。因此，如何使电路板吸附载台可以依据电路板大小，而关闭非电路板对应的吸附孔为当前业界急需解决的问题。缘此，本发明人有感上述问题的可改善，乃潜心研究并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本实用新型。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种基板吸附载台，其可以依据基板的长宽大小，而选择性地关闭至少一列X方向的吸附孔及至少一排Y方向的吸附孔，由此可解决习知电路板吸附载台，无法有效地依据电路板大小，而关闭其他非对应于电路板的吸附孔，进而造成吸附效果不佳的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种基板吸附载台，其包含：一载台本体、一第一阻气模块及数个第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔。数个第二阻气模块设置于载台本体的另一侧，各第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

在本发明的基板吸附载台的一个实施方式中，所述基板吸附载台进一步包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。

在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第一气道平行于X方向设置，各该第二气道平行于Y方向设置。

在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第一气道平行于Y方向设置，各该第二气道平行于X方向设置。

在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于该排的该些吸附孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。

在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第二气道包含数个与各该第二气孔错位设置的连通孔，各该连通孔分别与各该第一气孔相连通，且各该第二阻气模块的两两该阻隔单元的间距，大于或等于相邻的该连通孔与该第二气孔的间距。

为实现上述目的，本实用新型还提供一种基板吸附载台，其包含：一载台本体、一第一阻气模块及一第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔。第二阻气模块设置于载台本体的另一侧，以可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。

在本发明的基板吸附载台的一个实施方式中，所述基板吸附载台进一步包含：

一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；

数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通；

一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及

数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通；

其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。

在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，该第一阻气模块或是该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于X方向各排的该些吸附孔或是Y方向各列的该些次气孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。