[实用新型]用于原子力显微镜的气氛控制装置

权利要求书

1.一种用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。

2.根据权利要求1所述的用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：所述的混合气管（4）的进气口还与通过流量计三（3c）与气体瓶三（1c）相连。

3.根据权利要求1或2所述的用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：所述的气体瓶一（1a）与流量计一（3a）的连接管路中串接有盛装水或酒精的玻璃瓶（2a），即玻璃瓶（2a）瓶塞的进气口与气体瓶一（1a）相连，玻璃瓶（2a）瓶塞的出气口与流量计一（3a）相连；所述的进气腔（6）上安装有湿度测试仪和/或酒精浓度测试仪（5）。

4.根据权利要求3所述的用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：所述的气体瓶二（1b）与流量计二（3b）的连接管路中串接有盛装酒精或水的副玻璃瓶（2b），即副玻璃瓶（2b）瓶塞的进气口与气体瓶二（1b）相连，副玻璃瓶（2b）瓶塞的出气口与流量计二（3b）相连。

5.根据权力要求书1所述的用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：所述的混合气管（4）或进气腔（6）上安装有安全阀（8）。