[发明专利]一种动态切割检测装置及检测方法有效
| 申请号: | 201410853229.X | 申请日: | 2014-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN105806717B | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
| 发明(设计)人: | 吴丽芹;王志;黎晨;甘立民;许兰杭 | 申请(专利权)人: | 上海长园电子材料有限公司;长园电子(东莞)有限公司 |
| 主分类号: | G01N3/24 | 分类号: | G01N3/24;G01N3/04;G01N3/06 |
| 代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
| 地址: | 201802 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 动态 切割 检测 装置 方法 | ||
【权利要求书】:
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