[发明专利]全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法

权利要求书

1.一种全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于该方法的步骤如下：

(a)全背电极太阳能电池完成前置制备后，在发射极(1)和背表面场(2)的下表面沉积一起泡钝化膜(3)；其中，在温度环境中，起泡钝化膜(3)内部生成多个气泡，将该区域的钝化膜剥离，局部打开钝化膜；

(b)再在该起泡钝化膜(3)的下表面设置金属电极浆料，分别为和发射极(1)相对应的金属正电极浆料以及和背表面场(2)相对应的金属负电极浆料，并将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开以避免短路；

(c)再进行热处理，金属正电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的发射极(1)构成欧姆接触，形成局部接触金属正电极(4)，金属负电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的背表面场(2)构成欧姆接触，形成局部接触金属负电极(5)。

2.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：所述的步骤(a)中的前置制备包括制备硅基体(6)的受光面上由里至外设置的制绒层(7)、前表面场(8)和减反膜层(9)以及制备硅基体(6)的背面上并列设置的发射极(1)和背表面场(2)。

3.根据权利要求2所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：所述的步骤(a)中的前置制备的具体步骤如下：

(a1)提供一硅基体(6)；

(a2)将两个硅基体(6)面对面进行硼扩散，在硅基体(6)的背面形成P+层；

(a3)在硼扩散面沉积一制绒掩膜层；

(a4)在硅基体(6)的受光面上制绒，形成制绒层(7)；

(a5)在制绒层(7)的上表面上磷扩散处理，形成前表面场(8)；

(a6)去除制绒掩膜层及产生的PSG层；

(a7)再在硅基体(6)的背面热生长腐蚀掩膜层；

(a8)用激光对硅基体(6)的背面上需要形成背表面场(2)的区域进行开槽；

(a9)对激光开槽区域进行刻蚀，腐蚀掉硼掺杂区域，则剩余的硼掺杂区域为发射极(1)；

(a10)在激光开槽区域进行磷扩散处理或印刷含磷的掺杂剂，形成背表面场(2)；

(a11)去掉产生的PSG层及腐蚀掩膜层；

(a12)再在前表面场(8)的上表面上沉积减反膜层(9)，完成整个前置制备。

4.根据权利要求1或2或3所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：在所述的步骤(a)中，通过选择合适的起泡钝化膜(3)的厚度或合适的退火工艺或合适的硅基体(6)状态来得到所需要的起泡钝化膜的气泡的大小及密度。

5.根据权利要求1或2或3所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：所述的起泡钝化膜(3)为AlO_X/SiN_X叠层钝化膜。

6.根据权利要求5所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：所述的起泡钝化膜(3)为Al₂O₃/SiN_X叠层钝化膜。

7.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：在所述的步骤(b)中，在该起泡钝化膜(3)的下表面采用蒸镀或溅射方法制备金属电极浆料，并采用刻蚀方法将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开以避免短路。

8.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法，其特征在于：在所述的步骤(b)中，在该起泡钝化膜(3)的下表面采用印刷方法制备金属电极浆料，并且金属电极浆料为非烧穿钝化膜型金属浆料，该金属电极浆料自身就将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开。