[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明是有关于一种真空泵，其包括在内外周上具有双重排气通路的螺纹槽排气部。

背景技术

以往，如半导体制造工序中的干式刻蚀(dry etching)或化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)等制造程序(process)之类，在高真空的处理室(process chamber)内进行处理的工序中，例如使用如涡轮分子泵(turbo-molecular pump)之类的真空泵，作为排出处理室内的气体的元件。

在这种制造程序中，是借由将大量的气体供给至处理室内来使制造程序速度提高。为了提高大流量的气体的排气性能，众所周知的是在转子(rotor)的外侧及内侧配置螺纹定子的构造。

作为现有的涡轮分子泵的一例，有具备下述构造的涡轮分子泵。

转子包含转子轴及转子筒部，在基座上设置有形成有插通转子轴的开口的中央筒部。在转子筒部的外侧配置有固定于基座上的外侧螺纹定子，在转子筒部的内侧配置有内侧螺纹定子。在转子筒部上，形成有将外侧螺纹定子侧与内侧螺纹定子侧加以连通的气体通路连通用的贯通孔。转子是借由马达来驱动，所述马达包括设置于转子轴上的马达转子及设置于中央筒部的马达定子。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开WO2012/032863号

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1中虽然未进行图示，但是通常，在基座上设置有用于使马达定子冷却的冷却套管。在所述构造中，内侧螺纹定子会与马达定子一起冷却，从而反应生成物有可能堆积于内侧螺纹定子上。如果反应生成物堆积，那么在使泵停止时，借由驱动时的离心力而增大的转子筒部的直径缩小，从而固着于在内侧螺纹定子上堆积的反应生成物上，因此对重启造成妨碍。

而且，在间断排气时或真空装置刚启动后的大量排气时，马达定子的温度上升，因此对设置于基座下部的冷却套管进行驱动而使马达定子冷却。这时，反应生成物急剧增加，在运行时，反应生成物在转子筒部与内侧螺纹定子的间隙内大量堆积，因此泵有可能停止。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明适用于如下的真空泵，即，包括包含转子圆筒部及定子的螺纹槽排气部，从排气端口(exhaust port)排出自吸气口吸入的气体，并且借由具备以下的构成来解决所述问题。

即，本发明的真空泵包括：基座，构成泵容器；转子，包括所述转子圆筒部；内侧螺纹定子，在所述内侧螺纹定子与所述转子圆筒部的内周面之间形成所述螺纹槽排气部的内侧气体排气通路；外侧定子，在所述外侧定子与所述转子圆筒部的外周面之间形成所述螺纹槽排气部的外侧气体排气通路，并且与所述内侧定子热耦合；连通用开口部，设置于所述转子，将所述外侧气体排气通路与所述内侧气体排气通路在上游侧连通；排气口，使通过所述外侧气体排气通路及所述内侧气体排气通路而合流的气体从螺纹槽排气部向所述排气端口排出；基座冷却装置，使所述基座冷却。

(2)在本发明的真空泵中，所述基座包括中央筒部及外筒部，优选的是内侧定子经由隔热材料而保持于所述中央筒部，所述外侧定子经由隔热材料而保持于所述外筒部。或者，优选的是所述内侧定子经由隔热材料而保持于所述中央筒部，所述外侧定子不经由隔热材料而保持于所述外筒部。

(3)在这些真空泵中，所述内侧定子与所述外侧定子是直径互不相同的筒状构件，所述筒状构件在气体排气通路下游侧进行热连接，优选的是，在所述热连接部上形成所述螺纹槽排气部的所述排气口。

(4)在这些真空泵中，所述基座包括中央筒部及外筒部，在所述中央筒部设置有对所述转子进行旋转驱动的马达的马达定子，优选的是，所述基座冷却装置包含使所述中央筒部冷却的下部基座冷却装置。或者，优选的是，本发明的真空泵包括与所述螺纹槽排气部不同的涡轮叶片排气部，所述基座冷却装置还包含使所述涡轮排气部冷却的上部基座冷却装置。

(5)在这些真空泵中，优选的是更包括定子升温装置，所述定子升温装置包括用于对所述外侧定子进行升温的定子升温用加热器、以及对所述外侧定子的温度进行检测的定子升温用温度传感器，根据所述定子升温用温度传感器的检测结果进行所述定子升温用加热器的输出调整而对所述外侧定子以及所述内侧定子进行温度调整。

(6)定子升温装置优选的是更包括经由密封构件安装于所述基座上的导热构件，所述定子升温用加热器以及所述定子升温用温度传感器设置于所述导热构件上。