[发明专利]用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF2气体供给装置

权利要求书

1.用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：包括主气路单元、支气路单元、XeF₂气体发生器(19)、混合管(20)和用于控制气体流量、开关阀门和加热单元的控制单元；

所述的主气路单元包括通过管路和阀门(7)联接的主气源(17)、流量控制器(13)和主气体加热器(15)；

所述的支气路单元包括通过管路和阀门(8、9)联接支气源(16)、流量控制器(12)和支气体加热器(14)；

所述的XeF₂气体发生器包括存储罐(6)、内加热单元(5)和外加热单元(31)，所述的存储罐(6)内放置的XeF₂晶体(32)，并通过罐盖(35)密封；所述的外加热单元(31)包裹在存储罐(6)的底部和外围，所述的内加热单元(5)为设置在存储罐(6)下部的多根串接的U形盘管，所述U形盘管内置有加热电阻丝，所述的电阻丝与存储罐(6)外部的电源电联接；

所述的混合管(20)为二进一出的Y型结构，主气路单元出口和混合管(20)的一个进口通过阀门(11)联通；混合管(20)的另一进口(34)穿过存储罐(6)的上端或罐盖(35)并伸入至存储罐(6)内的底部；所述的支气路单元的出口(33)穿过存储罐(6)的上端或罐盖(35)，并伸入至存储罐(6)内的顶部。

2.根据权利要求1所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的主气路单元的管道直径大于支气路单元管道的直径。

3.根据权利要求2所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的主气路单元的管道直径为支气路单元管道的直径的2倍。

4.根据权利要求1或2所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的主气源(17)和支气源(16)内的气体为氩气和氮气的混合气体。

5.根据权利要求1所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的气体供给装置中设置了若干温度传感器(1、2、3、4)。

6.根据权利要求1所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的外加热单元(31)为电加热带。

7.根据权利要求1所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述的U形盘管为长度约10m，直径为10mm的不锈钢钢管。

8.根据权利要求1所述的用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：所述主气路单元的管道、支气路单元的管道、混合管的管道外部均包有保温带。