[发明专利]双面BUMP芯片包封后重布线的封装结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201410725126.5 申请日: 2014-12-04
公开(公告)号: CN104409437A 公开(公告)日: 2015-03-11
发明(设计)人: 杨志;赵励强;唐悦;王新;缪富军 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L21/60
代理公司: 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人: 唐纫兰;沈国安
地址: 214434 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 双面 bump 芯片 包封后重 布线 封装 结构 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种双面BUMP芯片包封后重布线封装结构,它包括基板(1)和芯片(2),其特征在于在所述芯片(2)上开设多个通孔(3),且在芯片(2)的正面、背面均设置有凸块(4),所述芯片(2)通过正面的凸块(4)焊接于基板(1)正面,在所述芯片(2)以及芯片(2)正面、背面的凸块(4)外围包封有塑封料(5),所述塑封料(5)的正面与芯片(2)背面的凸块(4)顶部齐平,在所述塑封料(5)的正面设置有金属线路层(6),所述金属线路层(6)与芯片(2)背面的凸块(4)相连。

2.一种如权利要求1所述的双面BUMP芯片包封后重布线封装结构的制作方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:

步骤一、芯片进行硅穿孔加工

在芯片上通过硅穿孔工艺形成通孔;

步骤二、芯片双面长凸块

在步骤一的芯片正、背面的对应焊盘上长出凸块;

步骤三、芯片贴装到基板

在步骤二基板正面的焊盘上刷一层助焊剂,然后将步骤二中的芯片贴装在基板上,而后进回流炉进行回流; 

步骤四、包封

将步骤三中的基板正面采用塑封料进行塑封,将芯片以及芯片正面、背面的凸块包封起来;

步骤五、研磨

在步骤四完成包封后进行表面研磨;

步骤六、电镀金属线路层

在完成步骤五之后,对所有凸块表面进行电镀金属线路层。

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