[发明专利]双面BUMP芯片包封后重布线的封装结构及其制作方法在审
| 申请号: | 201410725126.5 | 申请日: | 2014-12-04 |
| 公开(公告)号: | CN104409437A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
| 发明(设计)人: | 杨志;赵励强;唐悦;王新;缪富军 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;沈国安 |
| 地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 双面 bump 芯片 包封后重 布线 封装 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种双面BUMP芯片包封后重布线封装结构,它包括基板(1)和芯片(2),其特征在于在所述芯片(2)上开设多个通孔(3),且在芯片(2)的正面、背面均设置有凸块(4),所述芯片(2)通过正面的凸块(4)焊接于基板(1)正面,在所述芯片(2)以及芯片(2)正面、背面的凸块(4)外围包封有塑封料(5),所述塑封料(5)的正面与芯片(2)背面的凸块(4)顶部齐平,在所述塑封料(5)的正面设置有金属线路层(6),所述金属线路层(6)与芯片(2)背面的凸块(4)相连。
2.一种如权利要求1所述的双面BUMP芯片包封后重布线封装结构的制作方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:
步骤一、芯片进行硅穿孔加工
在芯片上通过硅穿孔工艺形成通孔;
步骤二、芯片双面长凸块
在步骤一的芯片正、背面的对应焊盘上长出凸块;
步骤三、芯片贴装到基板
在步骤二基板正面的焊盘上刷一层助焊剂,然后将步骤二中的芯片贴装在基板上,而后进回流炉进行回流;
步骤四、包封
将步骤三中的基板正面采用塑封料进行塑封,将芯片以及芯片正面、背面的凸块包封起来;
步骤五、研磨
在步骤四完成包封后进行表面研磨;
步骤六、电镀金属线路层
在完成步骤五之后,对所有凸块表面进行电镀金属线路层。
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