[发明专利]一种将输送完硅粉的氮气进行回收的装置

权利要求书

1.一种将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，包括：

过滤器，所述过滤器包括过滤器第一出口、过滤器入口，所述过滤器入口用于通入输送完硅粉的氮气，所述过滤器用于过滤输送完硅粉的氮气中的固体颗粒；

压缩机，所述压缩机包括压缩机入口和压缩机出口，所述压缩机入口与所述过滤器第一出口连接，所述压缩机用于将氮气进行压缩后能够再用于输送硅粉。

2.根据权利要求1所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，还包括硅粉干燥输送器，硅粉放置于所述硅粉干燥输送器中，所述硅粉干燥输送器包括硅粉干燥输送器入口和硅粉干燥输送器出口，所述过滤器入口与所述硅粉干燥输送器出口连接，所述压缩机出口与所述硅粉干燥输送器入口连接。

3.根据权利要求2所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，还包括氮气补充管线，所述氮气补充管线与所述硅粉干燥输送器入口连接，所述氮气补充管线用于向所述硅粉干燥输送器补充氮气。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，还包括沉降机，所述沉降机包括沉降机第一出口，所述沉降机第一出口与所述过滤器入口连接，所述沉降机用于沉降输送完硅粉的氮气中的固体颗粒。

5.根据权利要求4所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，还包括硅粉收集罐，所述过滤器还包括过滤器第二出口，所述硅粉收集罐与所述过滤器第二出口连接，所述硅粉收集罐用于收集经所述过滤器过滤得到的输送完硅粉的氮气中的固体颗粒；

所述沉降机还包括沉降机第二出口，所述硅粉收集罐与所述沉降机第二出口连接，所述硅粉收集罐用于收集经所述沉降机沉降得到的输送完硅粉的氮气中的固体颗粒。

6.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，所述压缩机为迷宫式压缩机。

7.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，所述压缩机将氮气进行压缩后的压力为0.4～0.7MPa。

8.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，还包括止回阀，所述止回阀与所述压缩机连接，所述止回阀用于稳定压力。

9.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，所述过滤器为陶瓷式过滤器，所述过滤器的过滤粒径为0.5～10μm。

10.根据权利要求1～3任意一项所述的将输送完硅粉的氮气进行回收的装置，其特征在于，所述过滤器上还设置有氮气反吹入口，通过所述氮气反吹入口用于向所述过滤器通入氮气进行氮气反吹。