[发明专利]利用热显影增强电子束光刻胶对比度的制备高密度平整图形的方法

权利要求书

1. 一种利用热显影增强电子束光刻胶对比度的制备厚胶高密度平整图形的方法，其特征在于具体步骤为：

（1）提供衬底材料，对衬底进行表面清洗和烘干处理；

（2）在衬底表面旋涂光刻胶；

（3）对所述光刻胶进行前烘和电子束曝光；

（4）对曝光后的光刻胶进行后烘和显影处理，显影过程中实施加温或超声振荡；

（5）对显影后的光刻胶进行定影和干燥处理。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述衬底材料为硅、锗、半导体材料，或金属材料及其化合物。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于在所述旋涂光刻胶过程中，光刻胶厚度为500纳米~10微米。

4. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述显影过程实施加温的方法，是将盛放有显影液的容器置于热板上，施加温度为25~60摄氏度。

5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述所述显影过程实施超声振荡的方法，是将盛放有显影液的容器置于超声振荡设备中，振荡时间为60秒~90秒。