[发明专利]一种用于生化分析的微孔板、金属镍模具及其制备方法

权利要求书

1.一种用于生化分析的微孔板，其特征在于：所述微孔板的材料为柔性材料，所述微孔板上具有若干个微孔，每一个所述微孔内的底面均具有若干个纳米孔，在所述纳米孔的底面以及与所述纳米孔的底面平行的各个面上还设有金属反射膜，所述微孔的直径为0.8～3mm，所述纳米孔的直径为50～300nm。

2.如权利要求1所述的微孔板，其特征在于：每一个所述微孔内的底面具有3×10⁶～8×10⁸个所述纳米孔。

3.如权利要求1或2所述的微孔板，其特征在于：所述微孔的深度为0.1～1mm；和/或所述纳米孔的深度为50～300nm。

4.如权利要求1或2所述的微孔板，其特征在于：所述纳米孔的直径为80～120nm。

5.如权利要求1或2所述的微孔板，其特征在于：所述金属反射膜的厚度为50～100nm。

6.如权利要求1或2所述的微孔板，其特征在于：在所述金属反射膜上以及在所述微孔和纳米孔的侧壁上还设有二氧化硅膜；所述二氧化硅膜的厚度为10～100nm。

7.一种用于制备权利要求1～6任意一项所述的微孔板的金属镍模具，其特征在于：所述金属镍模具包括模具本体，在所述模具本体的一个表面上具有若干个微细柱状突起，每一个所述微细柱状突起的顶面上均具有若干个纳米柱状突起，所述微细柱状突起的直径为0.8～3mm，所述纳米柱状突起的直径为50～300nm。

8.如权利要求7所述的金属镍模具，其特征在于：每一个微细柱状突起的顶面上均具有3×10⁶～8×10⁸个所述纳米柱状突起。

9.如权利要求7或8所述的金属镍模具，其特征在于：所述微细柱状突起的高度为0.1～1mm，和/或所述纳米柱状突起的高度为50～300nm。

10.一种权利要求7～9任意一项所述的金属镍模具的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)在一基底上形成一金属种子层，并在所述金属种子层上涂覆一层电子束光刻胶层；

(2)对所述电子束光刻胶层进行电子束曝光并显影，得到若干个纳米孔阵列，每个所述纳米孔阵列中包括若干个纳米孔，所述纳米孔的直径为50～300nm，每一个所述纳米孔阵列内的相邻两个纳米孔之间的间距是50～300nm；

(3)在经过步骤(2)处理后的所述电子束光刻胶层上涂覆厚度0.1～1mm的光刻胶；

(4)对所述厚度0.1～1mm的光刻胶进行曝光显影形成若干个微孔，每个所述微孔内均对应若干个所述纳米孔，所述微孔的直径为0.8～3mm；

(5)在所述微孔上通过金属掩模版沉积另一金属种子层；

(6)通过电铸工艺得到所述金属镍模具，在所述电铸工艺中，电铸充填所述纳米孔使用的脉冲电源脉宽为100～600μs，周期为200～2000μs，平均电流密度为0.2～1A/dm²。