[发明专利]一种扫描式金属表面成像及成分分析装置

权利要求书

1.一种扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，包括X光管（1）、X荧光探头（2）、准直器（3）、位置灵敏型光电倍增管（4）、探测器封装套（5）、高压控制系统（6）、放大器（7）、信号读出系统（8）、数据处理系统（9）、计算机控制与数据显示系统（10）、步进电机控制系统（11）、远程登陆系统（12）、激光测距仪（13）、步进电机（14）、样品台（15）、屏蔽防护体（16）；

X光管（1）、X荧光探头（2）、准直器（3）、位置灵敏型光电倍增管（4）、探测器封装套（5）、激光测距仪（13）均设置在屏蔽防护体（16）内且位于样品台（15）上方，激光测距仪（13）、X光管（1）、准直器（3）下表面的中心位于同一平面，且三者中心轴相交于样品表面；X荧光探头（2）、位置灵敏型光电倍增管（4）设在准直器（3）和探测器封装套（5）构成的密闭空间内，准直器（3）、X荧光探头（2）、位置灵敏型光电倍增管（4）依次连接；

位置灵敏型光电倍增管（4）依次连接放大器（7）、信号读出系统（8）、数据处理系统（9）、计算机控制与数据显示系统（10）；激光测距仪（13）连接数据处理系统（9）；X光管（1）依次连接高压控制系统（6）、计算机控制与数据显示系统（10）；步进电机（14）设置在屏蔽防护体（16）内且连接在样品台（15）下方，步进电机（14）依次连接步进电机控制系统（11）、计算机控制与数据显示系统（10）；计算机控制与数据显示系统（10）与远程登陆系统（12）通过电话线或者网线连接。

2.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，X荧光探头（2）和位置灵敏型光电倍增管（4）之间涂有光学硅脂。

3.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，所述X光管（1）、X荧光探头（2）与样品（15）的表面法线夹角为67.5°。

4.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，所述的激光测距仪（13）与样品台（15）上的样品（17）表面的距离为1.3~1.7cm。

5.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，所述的X荧光探头（2）使用Lu_1.8Y_0.2SiO₅:Ce晶体，其尺寸为Ф10×0.6cm。

6.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，所述的位置灵敏型光电倍增管（4）采用Hamamatsu公司的光电倍增管R3292-02型号。

7.根据权利要求1所述的扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，屏蔽防护体（16）设有样品更换通道。