[发明专利]一种硅电容麦克风

权利要求书

1.一种硅电容麦克风，其特征在于，包括敏感结构及与其配套的集成电路，其中：

所述敏感结构的数目多于一个并分为两组，各所述敏感结构的敏感运动方向相同，该两组敏感结构分别接入一路所述集成电路中的电压偏置电路；

在受外界声学信号后，该两路电压偏置电路分别得到对应所述两组敏感结构的两路电信号，所述集成电路对所述两路电信号进行融合处理后输出；

其中，所述两路电压偏置电路产生的偏置电压大小相同，符号相反或相同，并且互不相关；所述两组敏感结构中每组包含的敏感结构的个数、尺寸、材料参数和连接方法完全相同，并通过相同的接法分别接入本组对应的电压偏置电路。

2.根据权利要求1所述的硅电容麦克风，其特征在于，所述融合处理，包括将所述两路电信号直接差分。

3.根据权利要求1所述的硅电容麦克风，其特征在于,所述融合处理，包括将所述两路电信号其中一路的相位延迟180度并取反或不取反，另一路维持原状，再将两路信号融合。

4.根据权利要求1所述的硅电容麦克风，其特征在于，所述融合处理，还包括对所述两路电信号进行监测，当检测到其中的任一路信号异常时，将发生异常的该路电信号关闭，并只使用另一路电信号进行后续处理。