[发明专利]一种光驱动微流体泵有效
| 申请号： | 201410641754.5 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104481850A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 贾克辉 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | F04B43/02 | 分类号： | F04B43/02;F04B45/04 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213164 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 流体 | ||
1.一种光驱动微流体泵，其特征在于：由下往上依次包括出入口层(1)、泵腔层(2)、微线栅阵列驱动单元(3)和基片(4)；
所述出入口层(1)，设有入口(5)和出口(6)，用于传送液体；
所述泵腔层(2)，包括泵腔(7)和可形变的振膜(8)，泵腔(7)与出入口层(1)的入口(5)和出口(6)连通；
所述微线栅阵列驱动单元(3)包括周期为百纳米级的微线栅阵列(9)，所述微线栅阵列(9)由栅脊(91)和栅谷(92)构成，且微线栅阵列(9)为形状记忆材料偶氮苯液晶弹性体，微线栅阵列(9)的液晶基元取向受限于微线栅阵列结构且垂直于微线栅阵列(9)的沟槽方向；
基片(4)为石英玻璃。
2.如权利要求1所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述出入口层(1)和泵腔层(2)为单晶硅片，出入口层(1)与泵腔层(2)通过硅硅键合工艺相互对齐、键合。
3.如权利要求2所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述出入口层(1)和泵腔层(2)为经过KOH腐蚀液体硅各向异性腐蚀的单晶硅片。
4.如权利要求1所述的光驱动微流体泵，其特征在于：泵腔层(2)的振膜(8)厚度为5μm。
5.如权利要求2所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述出入口层(1)和泵腔层(2)的硅片厚度为350μm。
6.如权利要求1所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述微线栅阵列(9)的周期为200nm-500nm，栅脊(91)纵向高度为50nm-100nm，栅谷(92)为空气，微线栅阵列(9)面积小于振膜(8)的面积。
7.如权利要求1所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述基片(4)的厚度为0.5mm。
8.如权利要求1所述的光驱动微流体泵，其特征在于：微线栅阵列驱动单元(3)通过粘结剂与泵腔层(2)的振膜(8)粘结在一起。
9.如权利要求8所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述粘结剂为环氧树脂类粘结剂、聚丙烯酸酯类粘结剂中的一种。
10.如权利要求9所述的光驱动微流体泵，其特征在于：所述粘结剂为环氧树脂类粘结剂。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州大学，未经常州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410641754.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：触控基板、显示装置
- 下一篇：一种旅游景点留念签名系统
