[发明专利]柔性显示器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410612762.7 | 申请日： | 2014-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104637438B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 姜振圭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G09G3/32 | 分类号： | G09G3/32;H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 显示器 及其 制造 方法 | ||
1.一种柔性显示器，包括：
第一柔性基底；
中间阻挡层，定位在所述第一柔性基底上并且包括硅氧化物；
粘合层，定位在所述中间阻挡层上，并且包括其中掺杂有P型或N型导电杂质的非晶硅、或氢化的非晶硅中至少之一；
第二柔性基底，定位在所述粘合层上；
第一阻挡层，定位在所述第二柔性基底上并且包括硅氧化物；
第二阻挡层，定位在所述第一阻挡层上并且包括硅氮化物，
其中将所述第二阻挡层暴露至空气以便释放所述第二阻挡层的应力并在所述第二阻挡层上形成氧化膜；
缓冲层，定位在所述第二阻挡层上并且包括硅氧化物，
其中，所述缓冲层包括位于所述第二阻挡层上的与所述第二阻挡层具有相同的膜质量的第一子缓冲层，所述第一子缓冲层包括硅氮化物，以及位于所述第一子缓冲层上的第二子缓冲层；
薄膜晶体管，定位在所述缓冲层上；以及
有机发光元件，与所述薄膜晶体管相连接；
其中所述薄膜晶体管位于所述第二柔性基底和所述有机发光元件之间。
2.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述第一柔性基底和所述第二柔性基底包括聚酰亚胺。
3.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，
所述第一柔性基底和所述第二柔性基底中的每个都形成为具有8μm至12μm的厚度。
4.如权利要求2所述的柔性显示器，其中，
所述中间阻挡层的厚度为至
5.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述第一阻挡层的厚度为与之间。
6.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述第二阻挡层的厚度为与之间。
7.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述第一子缓冲层的厚度为与之间。
8.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述第二子缓冲层的厚度为与之间。
9.如权利要求1所述的柔性显示器，其中，
所述粘合层的厚度等于或小于
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