[发明专利]MEMS惯性传感器非线性度补偿方法

权利要求书

1.一种MEMS惯性传感器非线性度补偿方法，其特征在于：该方法为：建立MEMS惯性传感器的理想输出值与实际输出值的多项式函数关系式，所述的多项式函数关系式中包含有非线性项；通过多项式拟合获得所述的多项式函数关系式中的各个非线性项的系数并带入所述的多项式函数关系式中得到非线性补偿式；通过所述的非线性补偿式对所述的MEMS惯性传感器的实际输出值进行非线性补偿而获得其理想输出值。

2.根据权利要求1所述的MEMS惯性传感器非线性度补偿方法，其特征在于：所述的MEMS惯性传感器的理想输出值与实际输出值的多项式函数关系式为

Yk=KnY^kn+Kn-1Y^kn-1+......+K1Y^k1+K0Y^k0K-1Y^k-1+......+K-(n-1)Y^k-(n-1)+K-nY^k-n,]]>

其中，K_n、K_n-1、……、K₁、K₀、K_-1、……、K_-(n-1)、K_-n为非线性项的系数。