[发明专利]具有高精度的平坦度的保持垫在审
| 申请号： | 201410538867.2 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105269451A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 姜东烨;崔洪德;安炯一;徐呈旼;张容源;朴寅慧 | 申请（专利权）人： | 大元化成株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 高精度 平坦 保持 | ||
【权利要求书】：
1.一种保持垫，所述保持垫具有通过湿式凝固法对聚氨酯组成物成型的聚氨酯泡沫垫，其特征在于，所述聚氨酯泡沫垫包括：
上部支承层，分布有微小发泡，并且支承被抛光物；以及
下部缓冲层，位于所述上部支承层的下部，并且分布有具有比所述微小发泡的直径大数倍至数百倍的直径的巨大发泡，
其中，所述上部支承层被设置在从所述聚氨酯泡沫垫的表面层至整体厚度的50％以下的区域中，所述下部缓冲层在所述上部支承层的下部被设置成横跨所述聚氨酯泡沫垫的整体厚度的60至90％的区域。
2.如权利要求1所述的保持垫，其特征在于，
所述下部缓冲层的巨大发泡的平均直径对于所述上部支承层的微小发泡的平均直径的比例处于10至100的范围，所述巨大发泡的平均直径对于所述微小发泡的平均直径的比例是通过在湿式凝固时将表面皮膜凝固速度调节成比下部的树脂凝固速度相对快而获得的。
3.如权利要求1所述的保持垫，其特征在于，
所述聚氨酯泡沫垫的树脂组成物包括通过预聚物聚合法聚合的树脂以容易调节内部的硬段与软段的排列。
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