[发明专利]处理系统

权利要求书

1.一种处理系统，其特征在于，具备：

具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；

将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和

在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，

前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，

前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，

前述运送装置具备：

被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和

与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。

2.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，还具备：

使前述涂敷装置相对于前述面板升降的升降装置；和

控制前述涂敷装置、前述运送装置、前述多个上浮单元及前述升降装置的驱动的控制装置，

前述涂敷装置是作为前述开口部具备在与前述运送方向正交的方向延伸的狭缝喷嘴的涂敷装置。

3.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

前述吸附单元具备：

具备可吸附在前述面板上的吸附部的主体部；和

被设置在前述主体部的上部，可与前述面板的运送方向上游侧端缘抵接的抵接部，

前述驱动单元具备可独立地升降前述多个吸附单元的升降机构。

4.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

具备在前述面板运入区域中对前述面板的在前述运送方向及与前述运送方向正交的方向的姿势进行调整的调整单元。

5.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

具备：被设置在前述面板运入区域中，进行前述面板的交接的第一升降单元；和

被设置在前述面板运出区域中，进行前述面板的交接的第二升降单元，

前述第一及第二升降单元分别具备：

支承前述面板的多个销；和

在前述多个销的前端与前述上浮单元相比向上方突出的上升位置和前述多个销的前端与前述上浮单元的上面相比位于下方的下降位置之间升降的升降机构。

6.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

还具备与前述涂敷装置相比被配置在前述运送方向的下游侧，将被涂敷在前述面板表面上的液体的膜形成为半硬化液膜的半硬化装置。

7.一种处理系统，所述处理系统具备：

可进行被供给的面板的交接，面板被运入的面板运入区域；

向面板表面涂敷液体形成液膜的涂敷区域；和

运出形成了液膜的面板，可进行面板的交接的面板运出区域，

其特征在于，具备：

被设置在前述涂敷区域的上方，具备向前述面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；

从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地在面板运送方向延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和

在前述多个上浮单元之间，从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，可吸附前述面板，在从前述面板运入区域经前述涂敷区域到达前述面板运出区域的面板运送方向往复移动的运送装置。