[发明专利]中介基板及其制法有效
| 申请号: | 201410527274.6 | 申请日: | 2014-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN105405835B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
| 发明(设计)人: | 周保宏;许诗滨;许哲玮 | 申请(专利权)人: | 恒劲科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 王芝艳;冯志云 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 绝缘层 承载板 线路层 中介基板 导电柱 制程 制法 外接柱 核心层 外露 省略 通孔 移除 简易 | ||
1.一种中介基板,其特征在于,包括:
一第一绝缘层,其具有相对的第一表面与第二表面;
一第一线路层,其形成于该第一绝缘层的第一表面上;
多个导电柱,其形成于该第一绝缘层中并电性连接该第一线路层;
一第二线路层,其形成于该第一绝缘层的第二表面上并电性连接该导电柱;
多个外接柱,其设于该第二线路层上并电性连接该第二线路层;以及
一第二绝缘层,其形成于该第一绝缘层的第二表面与第二线路层上,且包围各该外接柱的周围并外露该些外接柱,该第二绝缘层上还形成有多个凹部,且各该凹部位于各该外接柱之间,又该第二绝缘层上形成有至少一用于容置电子元件的凹槽。
2.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该第一线路层的表面低于该第一绝缘层的第一表面。
3.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该导电柱的端面齐平该第一绝缘层的第一表面。
4.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该导电柱的端面齐平该第一绝缘层的第二表面。
5.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该第二线路层嵌埋于该第一绝缘层的第二表面上。
6.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该第二线路层未显露于该第二绝缘层的表面。
7.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,形成该第二绝缘层的材质为铸模化合物、底层涂料或介电材料。
8.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该凹部的深度小于或等于该凹槽的深度。
9.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该第二绝缘层沿该外接柱的侧面成型。
10.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该中介基板还包括一绝缘保护层,其形成于该第一绝缘层的第一表面与该第一线路层上,且令该绝缘保护层外露该第一线路层的部分表面。
11.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,该中介基板还包括一支撑结构,其设于该第一绝缘层的第一表面上。
12.如权利要求1所述的中介基板,其特征在于,形成该第一绝缘层的材质为铸模化合物、底层涂料或介电材料。
13.一种中介基板的制法,其特征在于,包括:
提供具有一第一线路层的一承载板,且该第一线路层上具有多个导电柱;
形成一第一绝缘层于该承载板上,其中,该第一绝缘层具有相对的第一表面与第二表面,使该第一绝缘层通过其第一表面结合至该承载板上,且该导电柱外露于该第一绝缘层的第二表面;
形成一第二线路层于该第一绝缘层的第二表面与该些导电柱上;
形成多个外接柱于该第二线路层上,并令该第二线路层电性连接该外接柱与该导电柱;
形成一第二绝缘层于该第一绝缘层的第二表面、外接柱与第二线路层上,且令该第二绝缘层外露该些外接柱;
形成一凹槽于该第二绝缘层上,并形成凹部于该第二绝缘层上,且该凹部位于各该外接柱之间;以及
移除该承载板,使该第一线路层外露于该第一绝缘层的第一表面。
14.如权利要求13所述的中介基板的制法,其特征在于,该第一绝缘层以铸模方式、涂布方式或压合方式形成于该承载板上。
15.如权利要求13所述的中介基板的制法,其特征在于,该第一线路层的表面低于该第一绝缘层的第一表面。
16.如权利要求13所述的中介基板的制法,其特征在于,该导电柱的端面齐平该第一绝缘层的第二表面。
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