[发明专利]一种基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器

权利要求书

1.一种基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于将泵浦模块产生的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的偏振补偿器型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。 

2.根据权利要求1所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：还包括全反镜(3)和输出镜(14)，所述全反镜(3)的光轴与输出镜(14)的光轴具有一夹角，所述1064nm波长谐振腔为由全反镜(3)和输出镜(14)构成的谐振腔。 

3.根据权利要求2所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：还包括依次设置的折叠镜(9)和凹面镜(12)，所述折叠镜(9)和凹面镜(12)构成的光路的光轴与全反镜(3)的光轴具有一夹角，所述355nm波长谐振腔为由全反镜(3)和凹面镜(12)构成的谐振腔。 

4.根据权利要求3所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：所述355nm波长谐振腔的形状为V形结构。 

5.根据权利要求3所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：还包括设于折叠镜(9)和凹面镜(12)之间的倍频单元，所述倍频单元包括依次设置的二倍晶体(10)和三倍晶体(11)，所述二倍晶体(10)和三倍晶体(11)构成的光路的光轴与折叠镜(9)和凹面镜(12)构成的光路的光轴共线。 

6.根据权利要求5所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：所述偏振补偿器型波长自由切换系统设于全反镜(3)的输出侧，包括依次设置的起偏器(6)、补偿器(7)和偏振分光棱镜(8)，所述起偏器(6)和补偿器(7)构成的光路的光轴与全反镜(3)的光路共线，所述起偏器(6)用于产生一线S偏振光，所述补偿器(7)用于调制光的偏振以产生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光；且当补偿器(7)产生S偏振光时，该S偏振光经偏振分光棱镜(8)输出至1064nm波长谐振腔中产生1064nm波长激光，当补偿器(7)产生P偏振光时，该P偏振光经偏振分光棱镜(8)输出至355nm波长谐振腔中产生355nm波长激光，当补偿器(7)产生S+P偏振光时，该S+P偏振光经偏振分光棱镜(8)输出至1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔中分别产生1064nm波长激光和355nm波长激光。 

7.根据权利要求5所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：所述泵浦模块包括泵浦源(1)和晶体(4)，所述泵浦源(1)和晶体(4)分别设于全反镜(3)的输入侧和输出侧，所述泵浦源(1)与全反镜(3)之间还设有耦合单元，所述耦合单元包括两个耦合镜(2)。 

8.根据权利要求6所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：还包括设于晶体(4)与起偏器(6)之间的Q开关(5)。 

9.根据权利要求7所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：所述输出单元包括反射镜(15)和45°短通片(13)，所述反射镜(15)用于将输出镜(14)所输出的1064nm激光反射至45°短通片(13)，所述45°短通片(13)用于输出反射镜(15)所反射的1064nm激光或/和用于输出折叠镜(9)所输出的355nm波长激光。 

10.根据权利要求8所述的基于偏振补偿器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：所述耦合镜(2)的两面均镀有808nm增透膜；所述全反镜(3)为平面镜，其左面镀有808nm增透膜，右面镀有808nm和1064nm高反膜；所述晶体(4)的两面均镀有1064nm增透膜；所述补偿器(7)的两面均镀有1064nm增透膜；所述偏振分光棱镜(8)的三面均镀有1064nm增透膜；所述折叠镜(9)为平凹镜，其凹面曲率半径为200mm，其凹面镀有1064nm、532nm高反膜和355nm增透膜，其平面镀有355nm高透膜；所述二倍晶体(10)的双面均镀有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述三倍晶体(11)的双面均镀有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述凹面镜(12)的凹面曲率半径为50mm，其凹面镀有1064nm、532nm和355nm高反膜；所述45°短通片(13)的左面镀有1064nm、532nm高反膜和355nm增透，其右面镀有1064nm高反膜和355nm高透膜；所述输出镜(14)为平面输出镜，两面均镀有透过率为30％的1064nm透膜；所述反射镜(15)的反射面镀有1064nm高反膜。