[发明专利]用于显示面板的阵列基板及其制造方法有效
| 申请号: | 201410510073.5 | 申请日: | 2014-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN104637925B | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
| 发明(设计)人: | 金洙虎;高太允;裵贤稷;高仁台 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 顾晋伟,董文国 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 显示 面板 阵列 及其 制造 方法 | ||
1.一种阵列基板,包括:
包括限定在栅极线与数据线的交叉区域处的多个像素的有源区(AA);
形成在非有源区(NA)的一侧处的栅极驱动电路(GCA);以及
在所述非有源区(NA)中的与所述数据线平行延伸以向所述栅极驱动电路(GCA)传递信号的信号线,
其中所述信号线包括具有多个分段线的第一线,以及由不同材料形成并且形成在与所述第一线不同的层处的至少一个附加线,
其中所述至少一个附加线电连接所述第一线的彼此相邻的两个分段线,
其中所述至少一个附加线包括第二线,其中所述第一线由栅极金属形成,所述第二线由像素电极材料形成,并且所述第二线经由形成为穿过栅极绝缘层和钝化层的接触孔连接至所述第一线。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其中所述至少一个附加线还包括由不同于所述第一线的层形成的并且与所述第一线的彼此相邻的两个分段线部分地交叠的第三线,其中所述第二线将所述第一线的所述两个分段线电连接至所述第三线。
3.根据权利要求2所述的阵列基板,
其中所述第三线由源极/漏极金属形成,
所述第二线经由形成为穿过栅极绝缘层和钝化层以露出所述第一线的一部分的接触孔和形成为穿过所述钝化层以露出所述第三线的一部分的附加接触孔连接至所述第一线和所述第三线。
4.根据权利要求1所述的阵列基板,
其中所述信号线为向所述栅极驱动电路(GCA)供给起始脉冲并且设置在所述栅极驱动电路(GCA)与所述有源区(AA)之间的正向起始信号线或反向起始信号线。
5.一种制造阵列基板的方法,所述方法包括:
通过对基板上的第一金属层进行图案化在非有源区(NA)中形成作为信号线的一部分的具有多个分段线的第一线;
在其上栅极被图案化的所述基板上形成一个或更多个绝缘层,以及形成至少一个接触孔,所述至少一个接触孔形成为穿过所述一个或更多个绝缘层以露出所述第一线的一部分;以及
通过图案化不同于所述第一金属层的第二金属层来形成至少一个附加线以电连接所述第一线的彼此相邻的两个分段线,
其中所述第一金属层为栅极金属层,所述一个或更多个绝缘层包括栅极绝缘层和钝化层,所述第二金属层为像素电极层。
6.根据权利要求5所述的方法,
其中所述一个或更多个绝缘层包括栅极绝缘层和至少一个钝化层,
其中用于形成所述一个或更多个绝缘层、所述至少一个接触孔和所述至少一个附加线的步骤包括:
在其上栅极被图案化的所述基板上形成栅极绝缘层并且利用源极/漏极金属形成第三线,其中所述第三线的末端与所述第一线的彼此相邻的所述两个分段线部分地交叠;
在所述非有源区(NA)上形成钝化层,形成穿透所述栅极绝缘层和所述钝化层以露出所述第一线的一部分的接触孔、以及穿透所述钝化层以露出所述第三线的一部分的附加接触孔;以及
在像素电极图案化过程期间形成第四线,所述第四线通过穿透所述栅极绝缘层和所述钝化层的所述接触孔、以及穿透所述钝化层的所述附加接触孔将彼此相邻的所述两个分段线电连接至所述第三线。
7.根据权利要求5所述的方法,
其中所述信号线为向栅极驱动电路(GCA)供给起始脉冲并且设置在所述栅极驱动电路(GCA)与所述有源区(AA)之间的正向起始信号线或反向起始信号线。
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