[发明专利]应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置及软膜压印方法

说明书

本发明公开了一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置，包括滚动单元和模板，该模板于其上连接处形成与滚动单元的固定连接或者可拆卸连接，该模板的其余部分则覆于滚动单元的滚动面。同时，本发明还公开了一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印方法。本发明的软膜压印装置相较于现有技术，其对模板的压印制作是逐渐展开的，因此其对模板的压制力是均匀分布的，由此便不会产生像现有技术中所产生的模板覆盖深浅的问题，从而保证图案印制的均匀性，提高产品的良率。

技术领域

本发明属于微纳米器件图案化制作技术领域，具体涉及一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置及软膜压印方法。

背景技术

现有的纳米压印技术主要有三种：热压印技术、紫外线压印技术和微接触纳米压印技术。其中，由于热压印技术固有的升降温过程和高压过程，目前还存在效率低的问题，实用中具有相当的技术难度，而紫外线压印技术是通过在压印胶中掺入光敏物质使得压印胶在紫外光照后可以固化从而实现室温压甲的纳米压印技术，其工艺所要求的压力也大大降低，因此紫外线压印技术是一种比较有前途的纳米图形转换技术，对其进行优化和改进，具有显著的市场价值。目前对其的研究也在逐步展开。

申请号为201110118347.2的中国发明专利便公开了一种应用这种紫外线压印技术的滚轮式紫外线软压印方法。该发明专利公开的软印方法中，通过一滚轮将模板压覆于压印胶上，再将模板从压印胶上剥离，从而实现模板图案向压印胶的转移。

该发明专利中所采用的滚轮压覆技术可以通过不断地滚动作用克服表面的不平整现象，但是由于其滚动是在模板已经覆盖于或者部分覆盖于压印胶的前提下进行的，因此在进行滚动作业后，模板已经覆盖于压印胶的部分会存在第二次的压制（第一次为人手或者设备铺设于压印胶上所产生的压制，第二次即为滚轮滚动所产生的压制），而模板其他未覆盖于压印胶或者未完全覆盖于压印胶的部分，只会因为滚轮产生一次压制，因此压印胶与模板的各个部分便在压制上产生了差别，从而会影响整块模板与压印胶之间图案转移的均匀性，即产生深浅，这种均匀性也会直接导致产品的不良率的产生。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种可以有效提高压印均匀度的应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置，同时还公开了一种采用这种软膜压印装置的软膜压印方法。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置，包括滚动单元和模板，该模板于其上连接处形成与滚动单元的固定连接或者可拆卸连接，该模板的其余部分则覆于滚动单元的滚动面。

本发明的软膜压印装置主要加入了滚动单元的改进，在模板上择好连接处并在该处固定连接或者可拆卸连接滚动单元，模板的其余部分则是覆于滚动单元的滚动面上，即模板的其余部分并不与滚动单元产生连接关系，其只是覆盖于滚动面上，在进行作业时，滚动单元以产品上的一个点作为起点开始滚动，滚动的同时，模板逐渐脱离滚动单元的滚动面并逐渐覆盖于紫外固化胶上，直到模板脱离至其与滚动单元的连接处时，由于该处是与滚动单元固定连接或者可拆卸连接的，因此模板至此已不能脱离滚动单元，使得滚动单元的滚动也即刻停止，此时根据设定的滚动距离，模板也可以正好完全铺设于产品表面的紫外固化胶上。

根据上述的工作过程，我们可以看到，本发明的软膜压印装置相较于现有技术，其对模板的压制是逐渐展开的，因此其对模板的压制力是均匀分布的，由此便不会产生像现有技术中所产生的模板覆盖深浅的问题，从而保证图案印制的均匀性，提高产品的良率。

虽然，本发明的软膜压印装置所采用的技术方案算不上十分复杂，其与现有技术一样仍然是采用滚动单元来进行模板的压制，但是通过本发明的改进，使得图案印制的均匀性相对于现有技术得到了提高，也就是说，其相对于现有技术取得了意想不到的技术效果。

在上述技术方案的基础上，本发明的软膜压印装置还可以作如下改进：

作为优选的方案，上述的连接处位于模板的端部。