[发明专利]真空镀膜装置、真空双面镀膜装置及带材的位置调整方法

说明书

本发明公开了一种金属带材的真空镀膜装置、一种金属带材的真空双面镀膜装置和一种真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，所述真空镀膜装置包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13)，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14)，所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。本发明的真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，具体地，涉及一种金属带材的真空镀膜装置。此外，本发明还涉及一种金属带材的真空双面镀膜装置和金属带材的位置调整方法。

背景技术

真空镀膜是在真空室内经加热源离析出来的靶材打到被镀物体的表面上的过程。

常见的金属带材的真空镀膜通常包括：大气环境中的放卷机放出的金属带材穿过数个水平布置的真空室(例如各级密封气锁、各真空预备室、各真空蒸发室等)串连组成的真空室串，并把锌、锌合金、不锈钢等材料镀在金属带材上，金属带材镀膜完成后，收卷在大气环境中的收卷机上。由于各真空室沿水平方向布置，并且金属带材水平穿过各真空室，同时真空室串又非常长(一般在30～80米)，为了保证真空室串中的金属带材处于同一水平面，真空室中设置有多组包括托辊和夹辊的夹紧滚筒组，以便夹紧定位金属带材。由于真空室中的各个夹紧滚筒组之间不可能调整到完全平行，导致金属带材经过各个夹紧滚筒组时，被托辊和夹辊之间的夹紧力压缩变形，从而经过真空室串后，金属带材出现各种缺陷(例如马刀弯、荷叶边等等)，降低金属带材真空镀膜的良品率。

有鉴于此，需要提供一种防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷的真空镀膜装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种金属带材的真空镀膜装置，该真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。

本发明的另一个目的是提供一种金属带材的真空双面镀膜装置和一种真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，该真空双面镀膜装置能够进行双面镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷，该真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法能够调整金属带材的悬垂高度。

为了实现上述目的，本发明提供一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒和输入夹送辊组，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒和输出夹送辊组，所述金属带材由所述输入夹送辊组夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。

优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材的悬垂高度的悬垂高度检测装置，所述悬垂高度检测装置位于所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间。

优选地，所述真空镀膜装置还包括用于检测所述金属带材在其自身宽度方向上的位置偏移的偏移检测装置，所述偏移检测装置设置于所述真空镀膜室与所述输入端辊筒之间或者设置于所述真空镀膜室与所述输出端辊筒之间。

优选地，所述输出端辊筒能够绕预定枢转中心枢转，以调正所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材。

优选地，所述输出端辊筒包括彼此相对的第一辊轴端和第二辊轴端，所述第一辊轴端和所述第二辊轴端分别可枢转地安装，所述真空镀膜装置还包括用于顶推所述第二辊轴端绕所述第一辊轴端的枢转中心枢转的第一顶推机构。