[发明专利]微波真空气压烧结炉

权利要求书

1.一种微波真空气压烧结炉，包括炉体(1)，

其特征在于，

所述炉体(1)连有用于对所述炉体(1)的内腔抽真空的抽真空装置(18)以及用于向所述炉体(1)的内腔中加压的加压装置，

所述炉体(1)内设置有用于物料烧结并减少热量流失的保温盒体(2)；

所述炉体(1)设有用于向所述炉体(1)内腔馈入微波的微波发生装置(3)，

所述微波发生装置(3)包括用于发出微波的微波源(301)以及用于将所述微波源(301)发出的微波向所述炉体(1)内馈入的波导(302)；

所述微波发生装置(3)设置为一个，所述波导(302)馈入口朝向所述炉体(1)内的所述保温盒体(2)的中心布置；或者

所述微波发生装置(3)设置为多个，所述微波源(301)与所述波导(302)的接合方向在相邻的两个所述微波发生装置(3)上相互垂直布置，并且与所述微波源(301)相接合的所述波导(302)的馈入方向偏离所述保温盒体(2)的中心，偏离距离为微波波长的奇数倍。

2.根据权利要求1所述的微波真空气压烧结炉，其特征在于，

所述微波源(301)的馈能天线置于透波耐压件(4)中，所述馈能天线与所述透波耐压件(4)共同接入到所述波导(302)内，

所述波导(302)的内壁面围合形成微波谐振腔，以使所述微波源(301)产生的微波透过所述透波耐压件(4)进入所述波导(302)内腔并在所述波导(302)内腔形成谐振传输到所述炉体(1)的内腔。

3.根据权利要求2所述的微波真空气压烧结炉，其特征在于，

所述透波耐压件(4)为管口带环形凸缘(401)的圆底试管体(402)，

所述透波耐压件(4)的开口朝向所述微波源(301)方向布置；

所述透波耐压件(4)通过压紧装置(5)紧压在所述波导(302)内，

所述压紧装置(5)紧压在所述环形凸缘(401)上；

所述压紧装置(5)上开设有用于使所述透波耐压件(4)的开口与所述微波源(301)连通的通孔(16)；

所述通孔(16)与所述透波耐压件(4)的开口相匹配；

所述通孔(16)的外缘布设有用于插放所述微波源(301)并防止微波泄漏的安装凸台(6)。

4.根据权利要求3所述的微波真空气压烧结炉，其特征在于，

所述透波耐压件(4)的内径沿轴向等径或者沿轴向渐变；

所述透波耐压件(4)的壁体为高纯石英壁、氧化铝壁、氮化硅壁、微晶玻璃壁、聚四氟乙烯壁、全氟烷氧基树脂壁、改性聚四氟乙烯壁、聚醚醚酮树脂壁中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的微波真空气压烧结炉，其特征在于，

所述波导(302)上装有用于隔离所述炉体(1)内腔压力并向所述炉体(1)内透入微波的叠合隔离层(d)、用于向所述炉体(1)内腔导入微波并防止微波外溢的金属接口管以及用于隔离热量的隔热层；

所述叠合隔离层(d)为依次叠合的塑料垫层、耐压玻璃层和塑料垫层，

所述叠合隔离层(d)外套设有中空的U形金属法兰a，塑料垫层、耐压玻璃层和塑料垫层依次叠合在所述U形金属法兰a的中空位置；

所述叠合隔离层(d)的第一面封堵在所述波导(302)的微波馈入口上，

所述叠合隔离层(d)的第二面封堵在所述金属接口管第一端的开口上，

所述金属接口管的第二端接通所述炉体(1)内腔；

所述隔热层置于所述金属接口管的内腔中。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的微波真空气压烧结炉，其特征在于，

多个所述微波发生装置(3)设置于所述炉体(1)的一侧；或者

多个所述微波发生装置(3)沿炉体(1)的中心线对称布置在所述炉体(1)的两侧，所述微波源(301)与所述波导(302)的接合方向在相对的两个所述微波发生装置(3)上相互垂直布置。