[发明专利]显示面板及制造该显示面板的方法在审
| 申请号: | 201410434066.1 | 申请日: | 2014-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN104377207A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
| 发明(设计)人: | 王明宗;柳智忠;齐国杰;刘建欣 | 申请(专利权)人: | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示 面板 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种显示面板及制造该显示面板的方法。
背景技术
现有平面转动型(In-Plane Switching, IPS)液晶显示面板在形成不同电路图案时往往需要借助对应的不同光罩来完成。因此,导致IPS液晶显示面板所需要的光罩数量较多,成本较高。
发明内容
鉴于此,有必要提供一种简化制程的显示面板及制造该显示面板的方法。
一种显示面板包括基板、薄膜晶体管、公共电极、公共电极线、连接电极及像素电极。所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极及连接所述源极与漏极的沟道层。所述栅极、公共电极及公共电极线均直接设置在基板上且相互断开并不直接相连。所述像素电极与漏极相连并与所述公共电极相对。所述公共电极与公共电极线通过连接电极相互连接。
一种显示面板制造方法,所述显示面板划分为用于显示图像的显示区域及位于显示区域外侧用于走线的非显示区域,该方法包括如下步骤:
提供一基板;
在所述基板上依次形成一金属层及覆盖在金属层上的光阻层;
利用一金属层光罩对所述光阻层进行曝光及显影以在所述金属层上形成与一薄膜晶体管的栅极及一公共电极线对应的光阻图案;
对形成有光阻图案的基板进行蚀刻,以将所述金属层蚀刻成薄膜晶体管的栅极及公共电极线;
在蚀刻后的基板上镀上透明导电薄膜作为一公共电极;
在所述基板上形成一栅极绝缘层以覆盖所述栅极、公共电极及公共电极线;
在所述栅极绝缘层上与所述栅极对应的位置处形成薄膜晶体管的沟道层;
在所述栅极绝缘层上对应沟道层的相对两侧分别形成薄膜晶体管的源极及漏极;
在所述栅极绝缘层上形成平坦层以覆盖所述沟道层、源极及漏极;
在所述平坦层上分别对应与漏极及公共电极线与公共电极相对应一侧的位置处开设所述第一接触通孔及第二接触通孔;
在所述第一接触通孔内及所述平坦层上形成与漏极相连接的所述像素电极,在所述第二接触通孔内及所述平坦层上形成与连接所述公共电极与公共电极线的连接电极。
相对于现有需分别采用不同光罩来形成栅极及公共电极的方法,本发明实施方式所提供的IPS显示面板只需要采用一个金属层光罩即可以在基板上形成栅极及公共电极,可有效地减少光罩数量,降低液晶面板的制作成本。
附图说明
图1为本发明实施方式所提供的显示面板的局部结构示意图。
图2为图1所示的显示面板沿II-II方向的局部剖视图。
图3为本发明实施方式所提供的显示面板的制造方法流程图。
图4至图12为图3中步骤S801至步骤S808的显示面板结构示意图。
主要元件符号说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





