[发明专利]合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410429173.5 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104152849A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 高凯雄;张俊彦;张斌;强力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 裴娜 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 工具钢 柱塞 表面 批量 沉积 类富勒烯碳 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法，其特征在于，所述方法采用磁控溅射沉积多层多组分类富勒烯碳薄膜且包括以下步骤：
步骤一、清洗：除油→漂洗→除锈→漂洗→中和→漂洗→脱水；
步骤二：本底真空抽至3x10-3Pa；
步骤三：打开1号Cr靶、3号Cr靶电源，调节靶电流分别为12A，将Ar流量调至240sccm，偏压电源调至600V，沉积15min，然后降低偏压到300V，沉积45min；
步骤四：充入100sccmN2气体，将1号Cr靶、3号Cr靶电流调至14A，偏压300V，沉积60min；
步骤五：关闭N2气体，关闭1号Cr靶、3号Cr靶，打开2号Ti靶、4号Ti靶，调节靶电流分别为12A，偏压电源调至600V，沉积10min；
步骤六：将偏压电源降至300V，同时充入CH4气体80sccm，CH4流量以10sccm/min的增长速率，增加到240sccm，沉积50min；
步骤七：关闭系统，自然冷却至室温取出。
2.如权利要求1所述的合金工具钢柱塞表面批量化沉积类富勒烯碳薄膜的方法，其特征在于，所述步骤一中脱水是用无水乙醇或去离子水加热90℃。
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