[发明专利]输送装置及具有该输送装置的曝光装置

权利要求书

1.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，

所述输送装置设置有浮动辊和浮动辊清扫单元，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫，

所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，

所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫，

所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，

所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，

所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。

2.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，

所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，

所述输送装置设置有从动辊和从动辊清扫单元，该从动辊位于所述浮动辊的下方，在与所述浮动辊之间夹持所述长条状工件且随着所述长条状工件的输送而从动于所述浮动辊进行升降，该从动辊清扫单元位于所述从动辊的下方，对所述从动辊的外周面进行清扫，

所述从动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，

所述从动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的另一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的另一个面进行清扫，

所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，

所述从动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述从动辊的下方，

所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述从动辊的下降端处接触。

3.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置具有：

权利要求1或2所述的输送装置；以及

曝光部，其位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，对所述长条状工件的一个面或另一个面曝光出图案。