[发明专利]光学滤波器及其生产方法以及用于检查电磁辐射的装置

权利要求书

1.一种制造具有两个DBR镜(3，4)和在它们之间存在的空腔的光学滤波器阵列的方法，该空腔包含具有多个不同高度的、分别形成Fabry-Perot滤波器元件(2a至2g)的空腔段(5a至5g)，其特征在于如下步骤：将第一DBR镜(3)涂覆到衬底(1)上，在所述DBR镜(3)上形成由空腔材料构成的层(5)，其中该层(5)通过应用纳米刻印方法被设置为具有多个形成滤波器元件(2a至2g)的空腔段(5a至5g)，以及利用通过所述空腔段(5a至5g)的不同高度预定的结构化将第二DBR镜(4)涂覆到所述空腔材料上，其中，所述层(5)以预选的厚度被涂覆并且其厚度借助于剥蚀方法被局部地降低，并且其中，互相分开地制造所述衬底(1)、DBR镜(3，4)和由空腔材料构成的层(5)并且然后正好地彼此重叠。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使用具有光电探测装置的衬底作为衬底(1)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，借助植入的方法局部地改变所述层(5)的折射率。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，利用电线或无接触的能量供应和同样的数据传输组合相应的平的光谱敏感的传感器，使得该组合例如适合于植入人的身体。

5.一种具有用于透过待探测的电磁辐射的衬底(1)的光学滤波器阵列，在该衬底上设置了第一DBR镜(3)、第二DBR镜(4)和多个在该两个DBR镜(3，4)之间空间分开设置的分别由空腔材料形成的空腔段(5a至5g)，这些空腔段具有不同的光学长度(L1，L2)并且与该两个DBR镜(3，4)分别形成一个滤波器元件(2a至2g)，其中所述滤波器(2)在通过DBR镜(3，4)确定的阻带中反射，并且其中每个滤波器元件(2a至2g)至少具有一个通过其空腔段(5a至5g)的所述光学长度确定的位于阻带内部的窄的透射带，其特征在于，所述空腔段(5a至5g)的不同的厚度是通过应用纳米刻印方法来制造的，所述空腔段(5a至5g)被构造为台形。。

6.一种用于检查从物体发出的电磁辐射的光谱分布和位置分布的光学滤波器阵列，包含：具有不同的窄的光谱通带的多个微型化的滤波器元件(5，5a至5d)以及与所述光敏元件(5，5a至5d)对应的光电传感器元件(3)，其中所述滤波器元件(5，5a至5d)被并列设置并且与所述传感器元件(3)一起形成传感器和滤波器阵列，其特征在于，所述光谱通带用统计的或伪统计的分布在传感器和滤波器阵列中被分布地设置。

7.根据权利要求6所述的光学滤波器阵列，其特征在于，所述传感器和滤波器阵列具有由相邻的传感器和滤波器元件(3，5，5a至5d)形成的范围(6a，6b，6c)，并且所述滤波器元件(5，5a至5d)基于统计的或伪统计的分布在所有范围(6a，6b，6c)中具有类似的通带。

8.根据权利要求7所述的光学滤波器阵列，其特征在于，该装置具有借助其能够在分析检查的辐射时选择性地确定所述范围(6a，6b，6c)的装置。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的光学滤波器阵列，其特征在于，所述通带与所述滤波器元件(5)如下地对应：相对所述传感器和滤波器阵列的预选的点产生通带的旋转对称的分布。

10.根据权利要求6至8中任一项所述的光学滤波器阵列，其特征在于，如下地在所述统计的分布上重叠线性的分布：所述滤波器元件(5a，5b)在靠近传感器和滤波器阵列的预选的点(14)的区域对应着平均短波的通带，并且随着与该点(14)间隔的增加对应着平均增加的长波通带。

11.根据权利要求6至8中任一项所述的光学滤波器阵列，其特征在于，所述衬底(2)具有用于容纳光源(14，22a至22d)的特定的孔洞。

12.根据权利要求6至8中任一项所述的光学滤波器阵列，其特征在于，所述滤波器元件(5，5a至5d)和与其对应的传感器元件(3)被综合成一个一体的、可铺设在物体(11，18，21)例如组织或身体部位上或从深度反向散射的材料上的传感器(12，17，20a至20d)。

13.根据权利要求5至8中任一项所述的光学滤波器阵列，其特征在于，利用电线或无接触的能量供应和同样的数据传输组合相应的平的光谱敏感的传感器，使得该组合例如适合于植入人的身体。