[发明专利]一种基于半腐蚀光纤光栅的温度不敏感溶液浓度传感器

权利要求书

1.一种基于半腐蚀光纤光栅的温度不敏感溶液浓度传感器，其特征在于：由单模光纤(1)、光纤布拉格光栅(2)、半腐蚀光纤布拉格光栅(3)组成；本发明中，用于刻写光纤布拉格光栅的光纤采用单模光纤，使用KrF准分子激光器进行光栅的刻写(248纳米)，采用相位掩膜方法，光纤布拉格光栅的中心波长为1552.04纳米。

2.根据权利要求1所述的一种基于半腐蚀光纤光栅的温度不敏感溶液浓度传感器，其特征在于：光纤布拉格光栅(2)的光栅周期为1072纳米，反射率为99.6％。

3.根据权利要求1所述的一种基于半腐蚀光纤光栅的温度不敏感溶液浓度传感器，其特征在于：半腐蚀光纤布拉格光栅(3)采用两次腐蚀法获得，直径为6.5微米，所用腐蚀溶液为氢氟酸(HF)，第一次氢氟酸溶液浓度为45％，腐蚀约40分钟，第二次氢氟酸溶液浓度为15％，腐蚀过程中采用掺铒光纤器(EDFA)作为入射光源，通过光谱分析仪(OSA)对反射谱峰进行实时观测。