[发明专利]涂布方法及装置有效
| 申请号: | 201410344873.4 | 申请日: | 2014-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN104624435B | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
| 发明(设计)人: | 吴俊欣 | 申请(专利权)人: | 万润科技股份有限公司 |
| 主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 徐伟 |
| 地址: | 中国台湾高雄*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 方法 装置 | ||
1.一种涂布装置,包括:
主机台,其上设置可供载盘于其中作定位或作输送位移第一轨道与第二轨道;其两侧分别设有可被驱动作位移的第一活动轨架的第一转换机构及可被驱动作位移的第二活动轨架的第二转换机构;在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门,所述第一轨道与第二轨道位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间;第一龙门的第一悬臂上设有第一操作装置,第二龙门的第二悬臂上设有第二操作装置;
所述载盘经由第一转换机构的第一活动轨架而输送至第一轨道或第二轨道受第一操作装置及第二操作装置进行黏性材料涂布,并于完成后,由第一轨道或第二轨道经第二转换机构的第二活动轨架输送移出。
2.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,该所述第一操作装置包括:第一检测装置、第一取像装置、第一涂布头;该第二操作装置包括:第二检测装置、第二取像装置、第二涂布头;
所述载盘于操作区间中的第一轨道或第二轨道上受第一操作装置及第二操作装置进行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料,并于完成后,由第一轨道或第二轨道输送移出。
3.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,在第一轨道与第二轨道处各设有治具,该治具设有可受驱动作上、下位移的治具座,治具座上设有多数顶座,各顶座上设有负压槽道;另,载盘内设有多数镂空区间,各镂空区间处分别各置设载片;
当载盘被输送至第一轨道或第二轨道处时,所述治具的治具座将被驱动上移以顶座顶触载片,并在负压槽道通以负压,使载片被吸附于顶座上表面下令顶座升经镂空区间,以使载片上所置设载有芯片的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布。
4.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,在所述操作区间的第一轨道与第二轨道间,设有校正座,其上设有校正刻度;以使载盘上所载设的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布时时藉以校正定位。
5.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,该第一龙门的第一悬臂上设有第一工作头,第二龙门的第二悬臂上设有第二工作头,所述第一操作装置设于第一工作头朝所述操作区间的一端,所述第二操作装置设于第二工作头朝所述操作区间的一端。
6.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,该所述第一轨道系由在固定位置不作位移的第一固定轨架所构成;所述第二轨道系由在固定位置不作位移的第二固定轨架所构成。
7.如权利要求6所述的涂布装置,其特征在于,该第一、二固定轨架系以二相隔间距的侧轨件形成载盘可输经的轨道,二侧轨件相对的内侧设有受驱动件所驱动的皮带,载盘于该二侧轨件间的皮带被输送。
8.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,该第一、二轨道设有止挡机构以止挡被输送的载盘止于定位或令载盘通过。
9.如权利要求6所述的涂布装置,其特征在于,更包括第三固定轨架,其与所述主机台的第一轨道对应,并可供载盘输送停置其中;另设有可对所述载盘进行检测的第二检测装置。
10.如权利要求9所述的涂布装置,其特征在于,该第三固定轨架设于与所述主机台分离的副机台上。
11.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,更包括:装送机构,包括第一升降架,以及受升降架驱动可作上升或下降的收纳盒,收纳盒形成两侧开口,并可被驱动升降以推送装置将容纳于收纳盒中尚未进行黏性材料涂布的载盘推入主机台中被进行黏性材料涂布。
12.如权利要求11项所述的涂布装置,其特征在于,该推送装置包括可藉固定件固设于第一升降架的轨座,轨座上设有滑轨供其上设有推抵件的移动座枢设,该移动座与皮带连动并受马达构成的驱动件所驱动,可驱使移动座连动推抵件对载盘进行推送的操作。
13.如权利要求1所述的涂布装置,其特征在于,更包括:装卸机构,包括第二升降架,以及受升降架驱动可作上升或下降的收纳盒,收纳盒形成两侧开口,并可用以容纳已完成黏性材料涂布的载盘。
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