[发明专利]溅射装置

权利要求书

1.一种溅射装置，其用于在沿着成膜辊的表面输送的长条膜基材的表面上形成薄膜，其中，

该溅射装置包括：

真空室；

上述成膜辊，其以能够旋转的方式配置于上述真空室内；

靶材，其为1个或多个，配置于上述真空室内，用于在沿着上述成膜辊的表面输送的长条膜基材的表面上形成成膜材料；

气体供给机构，其用于向上述成膜辊与上述靶材之间的成膜空间供给气体；

下游侧输送辊，其为多根，配置于上述真空室内的、相对于上述成膜辊而言的长条膜基材的输送方向下游侧，用于将沿着上述成膜辊的表面输送过来的长条膜基材向该输送方向下游侧输送；以及

温度调节机构，其用于将多根上述下游侧输送辊中的至少1根下游侧输送辊的温度维持在80℃以下且在比上述真空室内的最低温度高的范围内维持大致恒定，

从而，使脱离上述成膜辊后的上述长条膜基材多阶段性地冷却，

上述温度调节机构与各下游侧输送辊分别对应地设置，

与各下游侧输送辊相对应的温度调节机构用于将多根上述下游侧输送辊的温度维持在各自不同的大致恒定的温度，

与各下游侧输送辊相对应的温度调节机构将多根上述下游侧输送辊的温度维持为越靠上述输送方向下游侧上述下游侧输送辊被维持在越低的恒定的温度。

2.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，

利用上述温度调节机构将温度维持在大致恒定的上述下游侧输送辊具有中空部，该温度调节机构是向该中空部内输送大致恒定温度的流体的机构。

3.根据权利要求2所述的溅射装置，其中，

上述温度调节机构具有用于向上述下游侧输送辊的上述中空部内导入流体的旋转接头或转节。

4.根据权利要求1所述的溅射装置，其中，

利用上述温度调节机构将温度维持在大致恒定的上述下游侧输送辊是利用驱动部件驱动进行旋转的驱动辊。