[发明专利]一种载晶台体传动装置及其装配、操作方法

权利要求书

1.一种载晶台体传动装置，其特征在于：具有旋转台(1)、载晶台(2)、谐波传动减速装置(3)、电机(4)、电机连接架(5)以及底架(19)，其中旋转台(1)连接于底架(19)上，旋转台(1)的一侧安装有电机连接架(5)，电机连接架(5)中安装有电机(4)，电机(4)的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架(13)，载晶台保持架(13)上设有载晶台(2)及晶体位置调整机构。

2.按权利要求1所述的载晶台体传动装置，其特征在于：所述谐波传动减速装置(3)、电机(4)及电机连接架(5)整体向旋转台(1)外侧倾斜；电机(4)的输出端通过谐波传动减速装置(3)安装有载晶台保持架(13)，载晶台保持架(13)向下以一钝角角度延伸为水平设置的载晶台(2)。

3.按权利要求1所述的载晶台体传动装置，其特征在于：所述载晶台(2)下端安装有旋转电机(6)，旋转电机(6)的输出轴通过晶体位置调整机构连接载晶台指针(9)。

4.按权利要求1或3所述的载晶台体传动装置，其特征在于：所述晶体位置调整机构包括左右滑动机构(12)、前后滑动机构(11)以及上下调节装置，其中左右滑动机构(12)通过左右方向设置的第一燕尾槽滑动连接于槽内，左右滑动机构(12)的滑块上方具有前后方向设置的第二燕尾槽，前后滑动机构(11)与第二燕尾槽滑动连接；前后滑动机构(11)上通过上下调节装置安装载晶台指针(9)。

5.按权利要求4所述的载晶台体传动装置，其特征在于：所述上下调节装置采用齿轮齿条机构，通过调节杆(7)定位。

6.按权利要求4所述的载晶台体传动装置，其特征在于：还具有用于锁固载晶台指针(9)移动位置的第一、二锁紧销轴(8、10)。

7.按权利要求1所述的载晶台体传动装置，其特征在于：所述旋转台(1)通过连接件安装于底架(19)上，并通过定心螺钉(17)对调整后的旋转台(1)与底架(19)进行定位。

8.按权利要求1所述的载晶台体传动装置，其特征在于：底架(19)内部空间、电机连接架(5)内部空间、电机(4)的内部空间以及载晶台保持架(13)内部空间形成完全贯通的中空结构(20)，中空结构(20)内部穿置用于连接电机(4)以及旋转电机(6)的电气线缆(21)。

9.一种载晶台体传动装置的装配方法，其特征在于包括以下步骤：

将旋转台底座(16)安装在底架(19)上，调节、锁紧、定位；

将电机连接架(5)安装在旋转平台底座(16)上，电机(4)与电机连接架(5)的连接孔相连，连接架后盖(14)安装于电机连接架(5)后端；

电机(4)的输出轴连接谐波传动减速装置(3)；

载晶台(2)通过载晶台保持架(13)与谐波传动减速装置(3)的转矩输出端连接；

将端盖盖在载晶台保持架(13)上并固紧，将旋转平台上盖(15)盖在平台底座(16)上并固紧；

旋转电机(6)及电机(4)通过中空结构(20)在内进行走线。

10.一种载晶台体传动装置的操作方法，其特征在于包括以下步骤：

将待检测的晶体放置于载晶台指针(9)上；

通过调节左右滑动机构(12)实现晶体的左右方向的运动；

通过调节前后滑动机构(11)实现晶体的前后方向的运动；

通过上下调节装置实现晶体上下运动；

待晶体调节到所需的位置后锁紧销轴(8)、(10)对其进行锁紧固定；

开始检测，电机(4)驱动载晶台实现所需要的稳定精确的摇摆运动；

载晶台下端的旋转电机(6)实现晶体任意角度的旋转检测运动，配合测角仪的其他部件进行晶体检测。