[发明专利]一种半导体材料抗腐蚀研磨剂在审
| 申请号： | 201410291994.7 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104046323A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 腐蚀 研磨剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体材料抗腐蚀研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：除蜡水5-8份，酸洗剂10-19份，二氧化氯11-16份，三乙胺8-12份，酒石酸5-9份，苯甲酸甲酯6-7份，聚乙烯醇2-3份，二氧化硅4-5份，过氧化氢7-9份，硫酸锌1-3份，硫酸镁2-4份，硬脂酸钙3-8份，分散剂1份。
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