[发明专利]一种脉宽展宽激光退火装置

权利要求书

1.一种脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，包括：一光源发出的光束经过一脉宽调整单元调整所述光束的时域分布及脉宽，所述调整后的光束依次经过一准直扩束单元、匀光单元后进入一聚焦单元将所述光束聚焦后入射一基底；所述脉宽调整单元按照光束传播的方向依次包括一偏振分束器、一光线延迟单元和一偏振合束器。

2.如权利要求1所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述偏振分束器将所述光束分为P偏振光和S偏振光，所述光线延迟单元位于所述P偏振光或所述S偏振光的光路上，所述偏振合束器用于将经所述光线延迟单元处理的P偏振光和S偏振光合为一束。

3.如权利要求2所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述光线延迟单元包括一偏振分光棱镜，1/4波片，反射镜和角锥反射棱镜；入射偏振激光束经所述偏振分光棱镜、1/4波片后经所述反射镜反射，又入射至所述1/4波片，再经所述偏振分光棱镜反射到所述角锥反射棱镜，再经所述角锥反射棱镜反射，反射后的光束与所述入射偏振激光束分开再次入射至所述偏振分光棱镜，再入射至所述1/4波片，再经反射镜反射，再入射至1/4波片，形成出射偏振激光束后经偏所述振分光棱镜离开所述光线延迟单元。

4.如权利要求3所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述光线延迟单元还包括一水平移动台，所述水平移动台改变所述光束经过的光程以调整脉宽。

5.如权利要求1所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述光源是红外光、可见光或紫外光。

6.如权利要求1所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述光源发出的光束为至少两束。

7.如权利要求2所述的脉宽展宽激光退火装置，其特征在于，所述偏振分束器将所述光束分为任意比例的P偏振光和S偏振光。