[发明专利]一种基于拉曼光谱的光波导传感器无效
| 申请号： | 201410280311.8 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN104034717A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 何建军;江先鑫;杨畅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光谱 波导 传感器 | ||
1. 一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：包括输入波导(2)、螺旋形传感波导(10)、滤波器(20)、连接波导(9)和输出波导(3)，波导上包层(6)上开有检测窗口，螺旋形传感波导(10)装在检测窗口处，螺旋形传感波导(10)输入端经输入波导(2)与波长可调谐激光器(1)连接，螺旋形传感波导(10)输出端经连接波导(9)与滤波器(20)一侧连接，滤波器(20)另一侧经输出波导(3)与光功率计(4)连接。
2. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的波长可调谐激光器(1)、输入波导(2)、螺旋形传感波导(10)、滤波器(20)、连接波导(9)、输出波导(3)和光功率计(4)均位于同一基底上。
3. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的输入波导(2)、螺旋形传感波导(10)、滤波器(20)、连接波导(9)和输出波导(3)均位于同一基底上，波长可调谐激光器(1)为外接的波长可调谐激光器，光功率计(4)为外接的光功率计。
4. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的滤波器(20)为环形谐振腔、微盘结构或者分布式布拉格光栅结构。
5. 根据权利要求4所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的环形谐振腔为单个微环组成或者多个微环级联组成的谐振腔结构。
6. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的输入波导(2)、螺旋形传感波导(10)、连接波导、输出波导(3)和滤波器(20)均为平面光波导或者光子晶体波导。
7. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的波长可调谐激光器(1)与输入波导(2)之间、输出波导(3)和光功率计(4)之间均通过端面直接耦合方式，或者通过焊接方式实现单片集成。
8. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的波长可调谐激光器(1)为集成的半导体波长可调谐激光器。
9. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的光功率计为集成的光探测器。
10. 根据权利要求1所述的一种基于拉曼光谱的光波导传感器，其特征在于：所述的螺旋形传感波导(10)芯层(8)表面有用于增强拉曼信号的金属颗粒。
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