[发明专利]分片装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种分片装置。

背景技术

硅片分片是插片的前续工序，而为了顺利分片，一般选用在水中进行分片，即在水中进行分片，然后在从水中传输出来，这样，对分片的实时监控等只能在水下进行，而一般传感器不适于水下工作，所以亟需一种能够解决该技术问题的方案。

发明内容

针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供一种分片装置，其通过进料单元推送基片堆，通过吸取单元逐个吸附和输送基片，通过活动杆将感应挡块的动作传递至感应开关并触发其开启，进行监控或计数等，感应开关位于水面之上，能够灵敏、高效地工作。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种分片装置，包括进料单元、吸取单元、感应单元，所述的进料单元设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致竖直面布置；所述的吸取单元包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一真空源相连通的真空吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的真空吸附孔吸附并随输送带移动；所述的感应单元用于对所述的吸取单元每吸附一个基片作一次感应，所述的感应单元包括感应挡块、活动杆、感应开关，所述的感应挡块沿所述的基片堆进给方向能够往复移动地设置在所述的吸取单元上与所述的基片堆相对的位置，所述的感应挡块具有第一位置和第二位置，当所述的感应挡块处于第一位置时，所述的感应挡块至少部分突出于所述的输送带表面之外；当所述的感应挡块处于第二位置时，所述的感应挡块缩进于所述的输送带表面之内；所述的活动杆具有第一端部和第二端部，所述的活动杆的第一端部与所述的感应挡块相固定或传动连接、第二端部与所述的感应开关相邻，所述的活动杆的第二端部以及感应开关均位于所述水槽的最高液位面的上方，当所述的感应挡块处于第一位置时，所述的第二端部与所述的感应开关相不接触；当所述的感应挡块处于第二位置时，所述的第二端部抵紧在所述的感应开关上而将其触发开启。

优选地，所述的活动杆为一杆杠，所述的活动杆的第一端部与所述的感应挡块相固定。

优选地，所述的进料单元包括一用于支撑所述的基片堆的基片篮、带动所述的基片篮沿进给方向移动的推送机构，所述的基片篮在靠近吸取单元的一端为敞口端。

优选地，所述的推送机构为丝杠螺母机构。

优选地，所述的吸取单元的下端部设置在所述的水槽内。

本发明的有益效果在于：通过设置在水中的进料单元推送基片堆，以便吸附单元逐个吸附并输送，实现分片，在输送带上初始吸附基片的位置设置能够移动的感应挡块，其通过活动杆触发位于水面上的感应开关，并且，每吸附一片基片时，感应开关被触发一次，可以利用该感应开关的信号来进行一些控制或对基片进行计数，感应开关设置在水面以上，避免遇水失灵的情况，保证工作效率的同时，节省了使用成本，在这种在水中进行分片的情况下，本装置的设计具有极高的优势。

附图说明

附图1为本发明的分片装置的结构示意图。

附图中：

10、进料单元；101、水槽；102、基片堆；103、基片篮；104、推送机构；

20、吸取单元；201、输送带；

30、感应单元；301、感应挡块；302、活动杆；3021、第一端部；3022、第二端部；303、感应开关。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述：