[发明专利]分片装置

权利要求书

1.一种分片装置，其特征在于：该装置包括：

进料单元，其设置在一水槽内，所述的进料单元中放置有包括沿水平方向叠放有多个基片的基片堆，每个所述的基片沿大致竖直面布置；

吸取单元，其包括输送带，所述的输送带上设置有若干与一真空源相连通的真空吸附孔，所述的输送带有部分设置在所述的水槽内并且该部分延伸至所述的进料单元，当所述的基片堆沿进给方向进给时，所述的基片堆中的基片能够逐个被所述的输送带上的真空吸附孔吸附并随输送带移动；

感应单元，其用于对所述的吸取单元每吸附一个基片作一次感应，所述的感应单元包括感应挡块、活动杆、感应开关，所述的感应挡块沿所述的基片堆进给方向能够往复移动地设置在所述的吸取单元上与所述的基片堆相对的位置，所述的感应挡块具有第一位置和第二位置，当所述的感应挡块处于第一位置时，所述的感应挡块至少部分突出于所述的输送带表面之外；当所述的感应挡块处于第二位置时，所述的感应挡块缩进于所述的输送带表面之内；所述的活动杆具有第一端部和第二端部，所述的活动杆的第一端部与所述的感应挡块相固定或传动连接、第二端部与所述的感应开关相邻，所述的活动杆的第二端部以及感应开关均位于所述水槽的最高液位面的上方，当所述的感应挡块处于第一位置时，所述的第二端部与所述的感应开关相不接触；当所述的感应挡块处于第二位置时，所述的第二端部抵紧在所述的感应开关上而将其触发开启。

2.根据权利要求1所述的分片装置，其特征在于：所述的活动杆为一杆杠，所述的活动杆的第一端部与所述的感应挡块相固定。

3.根据权利要求1所述的分片装置，其特征在于：所述的进料单元包括一用于支撑所述的基片堆的基片篮、带动所述的基片篮沿进给方向移动的推送机构，所述的基片篮在靠近吸取单元的一端为敞口端。

4.根据权利要求3所述的分片装置，其特征在于：所述的推送机构为丝杠螺母机构。

5.根据权利要求1所述的分片装置，其特征在于：所述的吸取单元的下端部设置在所述的水槽内。