[发明专利]一种硅芯的洁净处理工艺有效
| 申请号： | 201410272522.7 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104018227A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李川;李斌;甘居富;陈彬 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;B24B1/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 邹翠 |
| 地址： | 614899 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 处理 工艺 | ||
1.一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：
A 采用陶瓷金刚石砂轮作为刀具对硅芯进行磨削整形，利用纯水作为冷却剂在硅芯开丫时对刀具和丫口进行冲洗；
B 整形完毕后的硅芯用纯水在磨削的地方进行冲洗；
C 用四氯化碳擦拭硅芯后，将硅芯放入超声池中进行超声；
D 从超声池中取出硅芯放进烘箱，在100-120 ℃的温度下烘干；
E 将烘干后的硅芯放进真空烘箱保存待用，温度设置50-80℃。
2.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述的B步骤，纯水在磨削的地方进行冲洗1-5min。
3.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述C步骤的擦拭硅芯是指：人工戴手套在洁净室用医用纱布至少来回擦拭四次，直至纱布不再沾污为止。
4.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述的C步骤，硅芯放入超声池中在40-50khz的频率下超声2-4小时。
5.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述的C步骤，超声的同时，从超声池底部通入纯水，流量为0.3-0.8m3/h。
6.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述的超声结束后，待水面没有漂浮物出现，才排水捞出硅芯进行烘干。
7.根据权利要求1所述的一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：所述的硅芯从硅芯炉中取出后的所有转运操作都在至少十万级的洁净厂房内。
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