[发明专利]一种羟甲基二甲基无氰一价镀铜的电镀液及电镀方法

权利要求书

1.一种羟甲基二甲基无氰一价镀铜的电镀液，其特征在于，包括含量为10～25g/L的CuCl、含量为78～156g/L的羟甲基二甲基海因、含量为20～40g/L的亚硫酸盐、含量为0.1～0.4g/L的三乙烯四胺和含量为10～20g/L的氯化物。

2.根据权利要求1所述的电镀液，其特征在于，包括含量为16.5g/L的CuCl、含量为105g/L的羟甲基二甲基海因、含量为25g/L的亚硫酸盐、含量为0.2g/L的三乙烯四胺和含量为16g/L的氯化物。

3.根据权利要求1所述的电镀液，其特征在于，所述羟甲基二甲基海因为3-羟甲基-5,5-二甲基海因、1-羟甲基-5,5-二甲基海因和1,3-二羟甲基-5,5-二甲基海因中的一种或至少两种。

4.一种使用权利要求1所述的电镀液电镀的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)配制电镀液：在水中溶解各原料组分形成电镀液，所述每升电镀液含有10～25gCuCl、64～102g羟甲基二甲基海因、20～40g亚硫酸盐、0.1～0.4g三乙烯四胺和10～20g氯化物；

(2)以预处理过的阴极和阳极置入所述电镀液中通入电流进行电镀。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述电流为单脉冲方波电流；所述单脉冲方波电流的脉宽为0.4～0.9ms，占空比为5～30％，平均电流密度为0.5～1A/dm2。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中电镀液的pH为8～9。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，电镀液的温度为40～55℃。

8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，电镀的时间为15～40min。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中阴极与阳极的面积比为(1/2～2)：1。