[发明专利]光偏转器、光扫描装置及图像形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于静电潜像的形成等的光偏转器、具备该光偏转器的光扫描装置及图像形成装置。

背景技术

在电子照相方式的图像形成装置中，生成与图像数据对应调制的光束，使该光束反射、偏转，并使偏转的光束在如感光鼓般的像载体上进行扫描，从而形成静电潜像。光偏转器是使光束反射、偏转的设备。作为光偏转器，已有建议采用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)镜来代替多面镜(polygon mirror)的技术。MEMS镜具有扫描的高速化及降低耗电量等优点。

采用MEMS镜的光偏转器具有：扭杆(torsion bar)、可绕扭杆的轴线摇动的镜部、以及镜驱动部。通过镜驱动部使镜部及扭杆成为谐振状态，在该状态下使入射到镜部的光束反射、偏转，从而使光束进行扫描。

当使镜部绕扭杆的轴线摇动时，在与扭杆交叉的方向上，作用于镜部两端的惯性矩大于镜部中央的惯性矩。因此，在使镜部摇动时，镜部有可能弯曲。为了抑制该弯曲，已提出一种设有肋的光偏转器。

该光偏转器包括：振动系统，其具有板状的可动部、形成于该可动部上并反射光的反射膜、将所述可动部以绕X轴能够摇动的方式支承于支承构件上的第1轴构件和配置于所述可动部的肋；以及驱动装置，其使所述可动部相对于所述支承构件进行摇动运动，其中，所述肋以相对于所述第1轴构件使所述可动部的一面的惯性矩与另一面的惯性矩成为相等的方式分别被配置于所述一面及另一面。

在该光偏转器中，以相对于所述第1轴构件(扭杆)使所述可动部的一面的惯性矩与另一面的惯性矩成为相等的方式，将肋分别配置于可动部的一面及另一面。因此，当使形成有反射膜的可动部(镜部)摇动时，能够抑制形成有反射膜的可动部进行除了以第1轴构件为轴的摇动以外的运动(例如为上下运动)。

然而，该光偏转器在可动部的两面设有肋。在将肋设置于可动部的两面的情况下，需要将肋设置于可动部的一面的工序和将肋设置于可动部的另一面的工序，由此增加光偏转器的制造工序数。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光偏转器、具备该光偏转器的光扫描装置及图像形成装置，当使镜部绕扭杆的轴线摇动时，能够抑制镜部的弯曲，且能抑制镜部进行除了绕扭杆的轴线的摇动以外的运动，且能够减少光偏转器的制造工序数。

本发明的第一方面所涉及的光偏转器包括固定部、可动部和加强构件。所述可动部具有：镜部，绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转；扭杆，被固定支承于所述固定部，具备作为所述摇动轴的轴线；以及支承体，支承所述镜部，被固定于所述扭杆。所述支承体包含与所述镜部抵接的抵接面和与该抵接面相反侧的非抵接面。所述加强构件在所述支承体的所述抵接面和所述非抵接面中仅设置于所述非抵接面，用于加强所述支承体，且调整所述可动部的重心从而使该可动部的重心位于所述轴线上。

本发明的第二方面所涉及的光扫描装置包括所述光偏转器和向所述镜部照射光束的光源。

本发明的第三方面所涉及的图像形成装置包括像载体、所述光扫描装置和显影部。所述光扫描装置将由图像数据表示的图像的静电潜像形成于所述像载体。所述显影部使形成于所述像载体的所述静电潜像显影。

根据本发明的上述结构，当使镜部绕扭杆的轴线摇动时，能够抑制镜部的弯曲，且能抑制镜部进行除了绕扭杆的轴线的摇动以外的运动，且能够减少光偏转器的制造工序数。

附图说明

图1是表示采用本实施方式所涉及的光偏转器的图像形成装置的内部结构的概略图。

图2是表示图1所示的图像形成装置的结构的方框图。

图3是表示构成图1所示的图像形成装置具备的光扫描装置的光学部件的配置关系的图。

图4是本实施方式涉及的光偏转器的立体图。

图5是将图4所示的光偏转器沿A1-A2线切断的剖视图。

图6是在与图5相同的剖面中表示一侧的镜驱动部的PZT薄膜伸展、另一侧的镜驱动部的PZT薄膜收缩的状态的图。

图7是从镜部的表面(光束的反射偏转面)侧观察本实施方式涉及的光偏转器所具备的设有镜部、扭杆、支承体、第1肋和第2肋的可动部的立体图。

图8是从镜部的背面侧观察所述可动部的立体图。

图9是将图7所示的可动部沿B1-B2线切断的放大剖视图。

图10是将图7所示的可动部沿C1-C2线切断的放大剖视图。

图11是将图7所示的可动部沿D1-D2线切断的放大剖视图。

图12是放大图9中E所示的部分的剖视图。