[发明专利]一种火花放电自激励喷射等离子体产生装置

权利要求书

1.一种火花放电自激励喷射等离子体产生装置，所述装置包括至少一微型放电腔，所述放电腔设有一喷孔，其特征在于，所述装置通过施加脉冲高压在微型放电腔内发生火花放电产生带电粒子，并在所述放电腔内瞬间升高的气压作用下，从放电腔的喷孔处喷射等离子体。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述带电粒子还在局部增强的电场的作用下，进一步加速所述等离子体的喷射速度。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述装置的气体介质为如下三种气体中任一或者其任意混合：空气、N₂、SF₆。

4.根据权利要求1至3任一所述的装置，所述装置包括至少一个具有喷孔的微型放电腔，所述装置从放电腔的喷孔处喷射等离子体，其特征在于：

所述放电腔包括上下接触的两层，所述喷孔位于上层，上层为接地的板电极，下层为圆筒形高分子化合物绝缘环且下层密封安装有正对喷孔的针电极；

所述装置通过在针电极处施加脉冲高压使得微型放电腔内发生火花放电。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述放电腔的外侧开有一圆环形凹槽，所述装置还包括至少一个与板电极连接的环电极，环电极为圆筒形且嵌入所述圆环形凹槽。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述喷孔处为一圆台结构，所述圆台靠近板电极表面一侧直径小，靠近针电极一侧直径大。

7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述上下两层通过金属螺栓紧固。

8.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述板电极和环电极选用不锈钢金属材料，针电极选用黄铜金属材料；高分子化合物绝缘环选用聚四氟乙烯或聚酰亚胺或其他高分子绝缘材料。

9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：所述环电极的至少一个圆形截面的圆心位于喷孔和针电极之间，且所述圆心和针电极的尖端位于同一直线。

10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：优选的，所述圆台的母线和下底面成45度角。