[发明专利]基于双波长光源的轴锥镜锥角检测装置及检测方法有效
| 申请号: | 201410219304.7 | 申请日: | 2014-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN103994734A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
| 发明(设计)人: | 王莹;曾爱军;张运波;黄惠杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 波长 光源 轴锥镜锥角 检测 装置 方法 | ||
1.一种基于双波长光源的轴锥镜锥角检测装置,特征在于该装置由双波长光源(1)、聚焦透镜(2)、滤光小孔(3)、分光镜(5)、准直透镜(6)、成像透镜(9)、第一图像传感器(4)、第二图像传感器(10)、第一位置调整机构(8)和第二位置调整机构(11)组成,其位置关系是:沿双波长光源(1)出射光束方向依次是所述的聚焦透镜(2)、滤光小孔(3)、分光镜(5)、准直透镜(6)、成像透镜(9)和第二图像传感器(10);第一图像传感器(4)位于所述的准直透镜(6)的前焦面,且第一图像传感器(4)的中心与所述的准直透镜(6)的中心共轴;所述的分光镜(5)位于第一图像传感器(4)与准直透镜(6)之间;所述的滤光小孔(3)与第一图像传感器(4)相对于所述的分光镜(5)共轭;第二图像传感器(10)位于所述的成像透镜(9)的后焦面,且第二图像传感器(10)的中心与成像透镜(9)中心共轴;所述的聚焦透镜(2)、准直透镜(6)、成像透镜(9)均为消色差透镜,在所述的准直透镜(6)和成像透镜(9)之间预留有待测轴锥镜(7)位置并置于所述的第一位置调整机构(8)上,所述的成像透镜(9)和第二图像传感器(10)置于所述的第二位置调整机构(11)上。
2.利用权利要求1所述的基于双波长的轴锥镜锥角检测装置对轴锥镜锥角的检测方法,其特点在于该方法包括以下步骤:
①将待测轴锥镜(7)放在所述的第一位置调整机构(8)上,使所述的待测轴锥镜(7)位于所述的准直透镜(6)与成像透镜(9)之间;
②启动所述的双波长光源(1),所述的双波长光源(1)出射的光束经聚焦透镜(2)聚焦、滤光小孔(3)滤波、分光镜(5)反射后进入所述的准直透镜(6)准直,调节所述的第一位置调整机构(8),使准直光束从待测轴锥镜(7)的平面入射,使从待测轴锥镜(7)的平面反射的光束经所述的准直镜(6)、分光镜(5)到达第一图像传感器(4)的中心位置;
③调节第二位置调整机构(11),使光束在第二图像传感器(10)上形成两个光斑的位置,任意一个光斑的中心与所述的第二图像传感器(10)的中心重合;
④记录第二图像传感器(10)上两个光斑中心的位置,计算两个光斑中心的相对位置偏差Δx,按下列公式计算待测轴锥镜(7)的锥角θ:
其中,n1为待测轴锥镜(7)制作材料相对第一种波长的折射率,n2为待测轴锥镜(7)制作材料相对于第二种波长的折射率,f为所述的成像透镜的焦距。
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