[发明专利]高频体声波延迟线换能器制备方法及高频体声波延迟线

权利要求书

1.一种高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：步骤如下，

1）清洗传声介质；

2）在传声介质两个端面分别沉积底电极薄膜，用上电极光刻板进行底电极薄膜的光刻，形成底电极图形；

3）在两端底电极上沉积压电层薄膜，压电层薄膜材料为氮化铝；

4）在两端压电层薄膜上沉积上电极薄膜，用底电极光刻板进行上电极薄膜的光刻，形成上电极图形。

2.根据权利要求1所述的高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：所述底电极薄膜由底电极打底层和底电极层构成，先在传声介质两个端面沉积底电极打底层，底电极打底层薄膜材料为铬；然后在底电极打底层上沉积底电极层，底电极层薄膜材料为金；底电极图形光刻时要同时对底电极打底层和底电极层进行光刻。

3.根据权利要求1所述的高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：所述压电层薄膜材料为（002）面取向的AlN。

4.根据权利要求1所述的高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：所述上电极薄膜由上电极打底层和上电极层构成，先在压电层薄膜上沉积上电极打底层，上电极打底层的薄膜材料为金属钛；然后在上电极打底层上采用蒸发方法沉积上电极层，上电极层的薄膜材料为铝；上电极图形光刻时要同时对上电极打底层和上电极层进行光刻。

5.根据权利要求1所述的高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：所述传声介质为钇铝石榴石。

6.一种高频体声波延迟线，包括输入匹配网络、输入端键和线、输入换能器，传声介质、输出换能器、输出端键和线、输出匹配网络、固定传声介质的导电银浆和金属外壳；输入换能器和输出换能器均包括底电极、压电薄膜和上电极，在底电极和上电极上分别光刻有图形；其特征在于：压电薄膜不需要光刻；底电极图形用上电极光刻板光刻得到，上电极图形用底电极光刻板光刻得到；上电极通过键和线与对应的匹配网络相连，分别将电信号引入引出到器件输入输出端。

7.根据权利要求6所述的高频体声波延迟线，其特征在于：所述匹配网络为微带短截线阻抗匹配网络，制作在微波介质板上。