[发明专利]一种制备CoCrAlYSi合金靶材的方法

权利要求书

1.一种制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，包括中间合金的成分确定和熔炼工艺，最终合金的熔炼和浇铸工艺，其特征在于：成分配比的重量百分比wt％为：Cr：21-25，Al：11-13，Y：0.4-1.8，Si：0.05-0.5，其余为Co，选择配制中间合金，使用熔炼和浇铸工艺制备该CoCrAlYSi合金。

2.根据权利要求1所述制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，其特征在于：中间合金为：Al-Co合金、Cr-Y合金、Cr-Si合金的制备。

3.根据权利要求2所述制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，其特征是：

所述Al-Co合金Al含量为25wt.％-40wt.％，使用真空中频感应熔炉，用氩气多次洗炉后在氩气保护下熔炼，熔配均匀后浇铸成锭备用；

熔配Cr-Y中间合金，其中Y的含量为75wt.％-90wt.％，使用电弧炉，用氩气多次洗炉后起弧熔配，制成钮扣状锭坯待用；

熔配Cr-Si中间合金，其中Si含量为45wt.％-55wt.％，使用电弧炉采用与配制Cr-Y中间合金相同的工艺熔配成纽扣状锭坯待用。

4.根据权利要求1所述制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，其特征是：将除Y以外的全部元素按配比装入高纯氧化铝坩埚，其中Al、Y、Si元素全部来自预配制的中间合金。

5.根据权利要求1所述制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，其特征是：采用氩气保护感应熔炼制备CoCrAlYSi合金，Cr-Y合金于浇铸前一刻加入合金熔体中，待其熔化后立即执行浇铸。

6.根据权利要求1所述制备CoCrAlYSi合金靶材的方法，其特征是：浇铸模具采用表面涂覆高纯氧化铝的石墨模具。