[发明专利]基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法

权利要求书

1.一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)使用掩模板或光刻胶掩模覆盖待加工材料，只暴露出待加工区域；

(2)对待加工区域进行离子注入；

(3)去除掩模；

(4)将待加工材料固定于平台上；

(5)调整光路，移动平台，使激光精确对焦到需加工位置；

(6)将飞秒激光器发出的飞秒脉冲波长精确调节到与注入后形成的纳米颗粒的表面等离子体共振吸收峰相同；

(7)通过光开关控制激光曝光时间和脉冲个数，并通过移动平台完成目标区域加工。

2.根据权利要求1所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述离子注入的离子种类根据飞秒激光波长及注入后纳米颗粒的表面等离子体共振吸收峰选定，其他参数根据需要的纳米形态进行精确控制，注入离子前需要先将待加工材料用夹具固定在底座上，注入过程需要在真空环境中进行。

3.根据权利要求2所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述离子注入的其他参数包括注入能量，注入电流和注入剂量。

4.根据权利要求2所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，夹具和底座要用金属导热材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述平台应满足固定于其上的物品可以沿横向、纵向和垂直方向自由移动。

6.根据权利要求1所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述飞秒脉冲波长如果不能精确调节到所需要的波长，可以使用光学参量放大器调节。

7.根据权利要求1所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述光开关可以使用光学快门。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种基于局部离子注入实现电子状态调控的飞秒激光加工方法，其特征在于，所述加工，在加工过程中可以借助CCD设备实时观测加工表面的状况。