[发明专利]振动元件、电子装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，具备：

基部；

支承臂，其从所述基部延伸出；

驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；

驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具备第一层叠结构体，所述层叠结构体具有第一电极层、第二电极层、和被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层；

监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具备第二层叠结构体，所述层叠结构体具有第三电极层、第四电极层、和被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，并且产生与所述振动用驱动臂的振动相对应的电荷。

2.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述驱动部和所述监测部在所述驱动用振动臂的宽度方向上以相互隔开间隔的方式并列设置。

3.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

所述驱动部具有第一驱动部和第二驱动部，

并且所述第一驱动部与所述第二驱动部在所述驱动用振动臂的宽度方向上以相互隔开间隔的方式并列设置。

4.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在俯视观察所述驱动用振动臂时，所述监测部被设置于与所述驱动部相比靠基部侧的位置处。

5.如权利要求4所述的振动元件，其特征在于，

在所述驱动用振动臂上，所述监测部被设置于与所述支承臂交叉的一侧。

6.如权利要求3所述的振动元件，其特征在于，

在俯视观察所述驱动用振动臂时，所述监测部被设置于所述第一驱动部与所述第二驱动部之间，并且所述监测部的相对于宽度方向的中心线与所述驱动用振动臂的相对于宽度方向的中心线不一致。

7.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

具备从所述基部起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出的检测用振动臂。

8.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，

在所述基部上设置有与所述驱动部以及所述监测部电连接的端子。

9.一种振动元件，其特征在于，

在将相互正交的三根假想轴分别设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述振动元件具备：

驱动用振动臂，其沿着通过X轴和Y轴而被规定的XY平面延伸出，且至少在X轴方向上进行振动；

检测用振动臂，其沿着通过X轴和Y轴而被规定的XY平面延伸出，且在施加了以Z轴为轴的角速度时，以沿着所述XY平面的方式进行位移，

在所述驱动用振动臂上设置有产生与所述振动相对应的电荷的监测部。

10.一种电子装置，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动元件、和电路元件。

11.一种电子装置，其特征在于，

具备权利要求9所述的振动元件、和电路元件。

12.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动元件。

13.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求9所述的振动元件。

14.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1所述的振动元件。

15.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求9所述的振动元件。