[发明专利]X光电子器件检测系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种X光检测系统，具体是一种用以对半导体器件进行检测的X光检测系统。

背景技术

如在高性能、高复杂性、高质量PCB(印刷电路板)的生产中，除了应保证优良的原材料、具备先进的生产工艺、设备和先进的管理模式之外，还必须具备完备的技术质量保证体系和先进检测设备。目前，印刷电路板 的设计、加工水平已达到0.15～0.12mm(线条宽度和间距)，层数已经达到46层(富士公司)甚至更多，可以说PCB的高技术和高复杂性己经达到一个相当高的水平，但在生产过程中，如何提高中间过程产品品质，如何减少废品率，如何提高PCB质量是各PCB生产厂家一直不懈追求的目标。但目前的PCB的质量情况不容乐观。因为印刷电路板品质的好坏，取决于印制电路板上每根线条、每个孔品质的好坏。而一块板上数以千计的线条和孔中任意一个发生过细、过粗、残缺、针孔、粘连、断开、错位等质量问题，都会影响最终产品质量，或导致产生废品。电路板的层数越多，问题越突出，造成的废品率越高。以20层板为例，若单层正品率约为98％，20层时正品率不足67％。

国家知识产权局于2007年11月14日公开了公开号为CN200975985，专利名称为工程轮胎X光检测系统的实用新型专利。其包括铅房、检测装置、控制室及电气控制装置；其中铅房的一侧面上设有电动铅房门；检测装置设置在铅房的内部，包括小车组、对中装置、U形架组、主机架组、对边组、驱动组及球头组；控制室设置在铅房的外部一侧；而电气控制装置则设置在控制室的内部。本发明提供的工程轮胎X光检测系统能够自动完成工程轮胎的定位、X光扫描、检测信号的接收、转换及图像显示，因而自动化程度高。由于每条工程轮胎可以全部进行内在质量的自动检测分析，所以对提高工程轮胎的出厂合格率起到了科学保障作用，并能大大提高轮胎检测效率和降低检验人员的劳动强度。

国家知识产权局于2012年7月11日公开了公开号为CN102565097A，专利名称为用于放射性物质检测和X光辐射成像的集成系统的发明专利。本发明涉及放射性物质探测和X光辐射成像领域，提供了一种用于在同一地点进行对被检物体进行放射性物质探测和X光辐射成像的集成系统，解决了现有技术中两种检测必须分开进行的技术问题。本发明中的集成系统包括：X光检测设备，用于对被检物体进行X光辐射成像检查；放射性物质监测设备，用于检测所述被检物体发出的放射性射线；以及用于阻挡X光辐射到达所述放射性物质监测设备的装置。本发明实现了两种检测的紧凑集成，大大节约了空间、时间资源，避免了由于在放射性物质监测设备和X光检测设备之间不断运送货品导致的人力、物力上的浪费。

国家知识产权局于2011年6月1日公开了公开号为CN201852799U，专利名称为X光检测设备的实用新型专利。本实用新型公开了一种X光检测设备，升降机构通过电机控制可相对立柱部分旋转；探测器组件固定定位于立柱部分的上部；光管部分固定定位于立柱部分的下部，载物台固定定位于探测器组件与光管部分之间，光管部分的固定组件直立于水平直臂上，光管部分的活动组件通过电机控制可相对固定组件旋转，活动组件的旋转方向与升降机构的旋转方向相反，且活动组件的旋转角度小于升降机构的旋转角度，活动组件上设有光管，升降机构旋转带动光管部分的整体同步旋转，光管部分上的活动组件同步逆向旋转可避免设于活动组件上的光管碰撞到载物台，从而可使光管部分设置的较为靠近距离载物台。

上述各个专利与本专利的技术方案完全不同，他们没有摇杆控制的结构形式，也没有用通过金属传感器进行检测的机箱开门防护装置，还没有用到十字光标定位的装置，X射线影像增强器的高度调节装置，同时也没有增设利用金属接近式传感器对二维移动工作台的移动限位的装置。

发明内容

本发明的目的是提供一种操作方便、安全可靠、使用寿命长及工作效率高的X光电子器件检测系统。

为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：