[发明专利]过氟化物处理装置以及过氟化物处理方法

权利要求书

1.一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：

加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体；

热交换单元，其被配置在所述加热单元的前段以及后段，在流入该加热单元之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热单元流出后的分解气体之间进行热交换；

酸成分除去单元，其利用药剂从自所述热交换单元流出后的分解气体干式除去酸成分；

浓度检测单元，其检测从所述酸成分除去单元流出的排气中所含的酸性气体的浓度；和

控制单元，其在通过所述浓度检测单元检测到的酸性气体的浓度达到了预先确定的值以上时进行下述控制：使预先确定的量的药剂从所述酸成分除去单元的内部排出，并且向该酸成分除去单元的内部新供给预先确定的量的药剂。

2.根据权利要求1所述的过氟化物处理装置，其特征在于，还具备：

药剂供给单元，其从所述酸成分除去单元的上方供给所述药剂；和

药剂排出单元，其从该酸成分除去单元的下方排出该药剂。

3.根据权利要求1或2所述的过氟化物处理装置，其特征在于，

向所述酸成分除去单元导入的分解气体，从该酸成分除去单元的下方导入，并且从该酸成分除去单元的上方排出。

4.根据权利要求1或2所述的过氟化物处理装置，其特征在于，

还具备检测单元，其检测所述酸成分除去单元中的所述药剂的上部位置，

所述控制单元以从所述检测单元取得的所述药剂的上部位置为基础来控制排出所述药剂的量以及供给该药剂的量。

5.一种过氟化物处理方法，其特征在于，具备：

加热工序，该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体；

热交换工序，该工序被配置在所述加热工序的前段以及后段，在流入该加热工序之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热工序流出后的分解气体之间进行热交换；

酸成分除去工序，该工序利用药剂从自热交换工序流出后的分解气体干式除去酸成分；

浓度检测工序，该工序检测从所述酸成分除去工序流出的排气中所含的酸性气体的浓度；和

控制工序，该工序在通过所述浓度检测工序检测到的酸性气体的浓度达到了预先确定的值以上时进行下述控制：对于在所述酸成分除去工序中使用的药剂，排出预先确定的量，并且新供给预先确定的量。

6.一种过氟化物处理方法，其使计算机实现以下功能：

从浓度检测单元取得酸性气体的浓度的信息的功能，所述浓度检测单元检测从酸成分除去单元流出的排气中所含的所述酸性气体的浓度，所述酸成分除去单元利用药剂从分解气体干式除去酸成分；

从检测所述酸成分除去单元中的所述药剂的上部位置的检测单元取得该上部位置的信息的功能；和

在所述酸性气体的浓度达到了预先确定的值以上时，以所述上部位置的信息为基础，使预先确定的量的药剂从所述酸成分除去单元的内部排出、并且向该酸成分除去单元的内部新供给预先确定的量的药剂的功能。