[发明专利]一种用于检测平板光学元件面形误差的装置及方法

权利要求书

1.一种用于检测平板光学元件面形误差的装置，其特征在于包括：光学元件支架（102），匹配液体（103）和匹配液体盛放槽（104），所述光学元件支架（102）用于夹持光学元件（101），并可将光学元件支架（102）放置于匹配液体盛放槽（104）上，匹配液体（103）是与所要检测的平板光学元件（101）的材料折射率接近或完全一致的透明溶液，匹配液体（103）不得对被检测光学元件（101）造成化学损伤。

2.根据权利要求1所述的一种用于检测平板光学元件面形误差的装置，其特征在于：匹配液体（103）为苯、乙醚、甘油或松节油，匹配液体（103）也可以是溶液，譬如氯化钠溶液，20摄氏度时，氯化钠溶液的折射率可以按照氯化钠溶液的浓度从1.33调配至1.6，覆盖了大部分光学材料的折射率范围。

3.根据权利要求2所述的一种用于检测平板光学元件面形误差的装置，其特征在于：匹配液体盛放槽（104）内部具有消光涂层或消光结构，光线射入后不会产生强烈镜面反射，譬如可采用磨砂外加涂黑处理以消除镜面反射，也可采用折反光学系统结构将光线折射至非相干区域。

4.根据权利要求2所述的一种用于检测平板光学元件面形误差的装置，其特征在于：该匹配溶液盛放槽（104）存在一个用于添加匹配溶液的添液嘴（108），该添液嘴（108）的上沿高度与匹配液体盛放槽（104）的上沿持平或略低于匹配液体盛放槽（104）的上沿高度。

5.一种用于检测平板光学元件面形误差的方法，该方法利用权利要求1至4任一项所述的用于检测平板光学元件面形误差的装置实现，其特征在于包括如下的步骤：

步骤（1）：查询或测试该光学元件（101）所采用的光学材料的折射率，选择并调配匹配液体（103）；

步骤（2）：将匹配液体（103）注入匹配液盛放槽（104）内；擦拭干净被检测平板光学元件（101）的被检测光学表面，将夹持好被检测件的光学元件（101）的光学元件支架（102）放置于匹配液体盛放槽（104）上，被检测光学元件（101）前光学表面朝上，为待检测光学表面，后光学表面没入匹配液（103）中，前光学表面不得没入匹配液体（103）中，且不得被匹配液体（103）污染；如液面高度不合适可通过添液嘴（108）适当添加或取出匹配液体（103）；

步骤（3）：将步骤（2）中安放好光学元件（101）和匹配液体（103）的装置放置于立式干涉仪工件支架（106）上，静止一段时间，直至液面稳定后即可采用立式干涉仪进行光学元件面形误差检测；

步骤（4）：按照普通立式干涉仪的常规操作步骤，检测并读取光学元件的面形数据；

步骤（5）：取下匹配液体盛放槽，并依次取下光学元件及光学元件支架，倒出匹配液体，用自来水冲洗光学元件及匹配液体盛放槽并晾干。