[发明专利]一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用

权利要求书

1.一种微腔阵列质谱靶板，包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有微腔，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列。

2.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔的形状为正方体或棱台形；

优选地，所述微腔边长宽度为30～300微米、深度为30～300微米。

3.根据权利要求1或2所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，每个微腔仅能容纳一个多肽微珠；

优选地，所述多肽微珠的粒径为100～300微米，优选120～250微米，更优选150～180微米。

4.根据权利要求1-3任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔区域的微腔个数为4～900个。

5.根据权利要求1-4任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔区域的面积为0.5～4cm²。

6.根据权利要求1-5任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述基片的材料为硅；

优选地，所述基片的厚度为200微米～1毫米。

7.根据权利要求1-6任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述粘附层的材料为钛；

优选地，所述粘附层的厚度为10～100纳米。

8.根据权利要求1-7任一项所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述导电层的材料为金、银或铂，优选为银；

优选地，所述导电层的厚度为100～500纳米。

9.一种制作权利要求1-8任一项所述的微腔阵列质谱靶板的方法，包括如下步骤：

（1）打印预先设计的微腔阵列图，形成掩膜；

（2）利用光刻胶将所述掩膜转移到基片上；

（3）通过曝光、显影和去胶得到微腔阵列图；

（4）蚀刻所述基片，并去除剩余的光刻胶和氧化层，得到微腔阵列；

（5）分别溅射粘附层和导电层；

（6）按照预先设计的规格划片得到所述微腔阵列质谱靶板。

10.一种权利要求1-8任一项所述的微腔阵列质谱靶板在组合化学多肽文库的筛选中的应用。